Ränivahvli termiline oksiidikiht on oksiidikiht või ränidioksiidikiht, mis moodustub räniplaadi paljale pinnale kõrge temperatuuri tingimustes oksüdeeriva ainega.Ränivahvli termilise oksiidi kihti kasvatatakse tavaliselt horisontaalses toruahjus ja kasvutemperatuuri vahemik on tavaliselt 900 ° C ~ 1200 ° C ning on kaks kasvurežiimi: "märg oksüdatsioon" ja "kuiv oksüdatsioon".Termooksiidikiht on "kasvatatud" oksiidikiht, millel on suurem homogeensus ja suurem dielektriline tugevus kui CVD-sadestatud oksiidikihil.Termooksiidikiht on suurepärane dielektriline kiht isolaatorina.Paljudes ränipõhistes seadmetes on termooksiidikihil oluline roll dopingut blokeeriva kihi ja pinnadielektrikuna.
Nõuanded: Oksüdatsioonitüüp
1. Kuivoksüdatsioon
Räni reageerib hapnikuga ja oksiidikiht liigub basaalkihi poole.Kuivoksüdatsioon tuleb läbi viia temperatuuril 850–1200 ° C ja kasvukiirus on madal, mida saab kasutada MOS-i isolatsioonivärava kasvatamiseks.Kui on vaja kvaliteetset üliõhukest ränioksiidi kihti, eelistatakse kuivoksüdatsiooni märgoksüdeerimisele.
Kuivoksüdatsioonivõime: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Märgoksüdatsioon
See meetod kasutab vesiniku ja kõrge puhtusastmega hapniku segu põletamiseks temperatuuril ~1000 °C, tekitades seega veeauru, moodustades oksiidikihi.Kuigi märg oksüdatsioon ei suuda toota nii kvaliteetset oksüdatsioonikihti kui kuivoksüdatsioon, kuid piisavalt isolatsioonitsoonina kasutamiseks, on kuiva oksüdatsiooniga võrreldes selge eelis, et sellel on suurem kasvukiirus.
Märgoksüdatsioonivõime: 50nm ~ 15 µm (500A ~ 15 µm)
3. Kuivmeetod - märgmeetod - kuivmeetod
Selle meetodi puhul eraldub oksüdatsiooniahju algfaasis puhas kuiv hapnik, oksüdatsiooni keskel lisatakse vesinik ja lõpus säilitatakse vesinikku, et jätkata oksüdeerimist puhta kuiva hapnikuga, moodustades tihedama oksüdatsioonistruktuuri kui oksüdatsiooni. tavaline märgoksüdatsiooniprotsess veeauru kujul.
4. TEOS oksüdatsioon
| Oksüdatsioonitehnika | Märgoksüdatsioon või kuivoksüdatsioon |
| Läbimõõt | 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
| Oksiidi paksus | 100 Å ~ 15 µm |
| Tolerantsus | +/- 5% |
| Pind | Ühepoolne oksüdatsioon (SSO) / kahepoolne oksüdatsioon (DSO) |
| Kolle | Horisontaalne toruahi |
| Gaas | Vesinik ja gaas hapnik |
| Temperatuur | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Murdumisnäitaja | 1.456 |
