Kirjeldus
Semicera SiC-ga kaetud grafiidisustseptorid on konstrueeritud kvaliteetsete grafiidisubstraatide abil, mis on täiustatud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) abil hoolikalt kaetud ränikarbiidiga (SiC). See uuenduslik disain tagab erakordse vastupidavuse termilisele šokile ja keemilisele lagunemisele, pikendades oluliselt SiC-ga kaetud grafiidisusseptori eluiga ja garanteerides usaldusväärse jõudluse kogu pooljuhtide tootmisprotsessi vältel.
Põhiomadused:
1. Suurepärane soojusjuhtivusSiC-ga kaetud grafiidisustseptoril on suurepärane soojusjuhtivus, mis on pooljuhtide valmistamise ajal tõhusa soojuse hajutamise jaoks ülioluline. See funktsioon minimeerib soojusgradiente vahvli pinnal, soodustades ühtlast temperatuurijaotust, mis on vajalik pooljuhtide soovitud omaduste saavutamiseks.
2. Tugev keemilise ja termilise šoki vastupidavusSiC-kate pakub tohutut kaitset keemilise korrosiooni ja termilise šoki eest, säilitades grafiidisustseptori terviklikkuse isegi karmides töötlemiskeskkondades. See täiustatud vastupidavus vähendab seisakuid ja pikendab tööiga, aidates kaasa pooljuhtide tootmisrajatiste tootlikkuse ja kuluefektiivsuse suurenemisele.
3. Kohandamine erivajadusteleMeie SiC-kattega grafiidisusseptoreid saab kohandada vastavalt konkreetsetele nõuetele ja eelistustele. Pakume mitmesuguseid kohandamisvõimalusi, sealhulgas suuruse reguleerimist ja katte paksuse variatsioone, et tagada disaini paindlikkus ja optimeeritud jõudlus erinevate rakenduste ja protsessiparameetrite jaoks.
Rakendused:
KasutusaladSemicera SiC katteid kasutatakse pooljuhtide tootmise erinevates etappides, sealhulgas:
1. -LED-kiibi valmistamine
2. - polüräni tootmine
3. - Pooljuhtide kristallide kasv
4. -Räni ja SiC epitaksi
5. - Termiline oksüdatsioon ja difusioon (TO&D)
Tehnilised andmed:
