Põhijooned:
1. Kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus:
oksüdatsioonikindlus on ikka väga hea, kui temperatuur on kuni 1600 C.
2. Kõrge puhtusastmega: valmistatud keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
3. Erosioonikindlus: kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
4. Korrosioonikindlus: happe, leelise, soola ja orgaanilised reagendid.
Peamised spetsifikatsioonidCVD-SIC kate
SiC-CVD omadused | ||
Kristalli struktuur | FCC β faas | |
Tihedus | g/cm³ | 3.21 |
Kõvadus | Vickersi kõvadus | 2500 |
Tera suurus | μm | 2-10 |
Keemiline puhtus | % | 99.99995 |
Soojusmahtuvus | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Sublimatsiooni temperatuur | ℃ | 2700 |
Üleseksuaalne tugevus | MPa (RT 4-punktiline) | 415 |
Youngi moodul | Gpa (4pt bend, 1300 ℃) | 430 |
Soojuspaisumine (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Soojusjuhtivus | (W/mK) | 300 |