Vahvlite käsitsemisvarson võtmeseade, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis käsitsemiseks, teisaldamiseks ja positsioneerimiseksvahvlid. Tavaliselt koosneb see robotkäest, haaratsist ja juhtimissüsteemist, millel on täpsed liikumise ja positsioneerimise võimalused.Vahvlite käsitsemise käedNeid kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise erinevates lülides, sealhulgas protsessietapid, nagu vahvlite laadimine, puhastamine, õhukese kile sadestamine, söövitamine, litograafia ja kontroll. Selle täpsus, töökindlus ja automatiseerimisvõimalused on olulised tootmisprotsessi kvaliteedi, tõhususe ja järjepidevuse tagamiseks.
Vahvlite käsitsemishoova peamised funktsioonid on järgmised:
1. Vahvlite teisaldamine: vahvlite käsitsemisvars suudab vahvleid täpselt ühest kohast teise teisaldada, näiteks võtta vahvlid hoiurestilt ja asetada need töötlemisseadmesse.
2. Positsioneerimine ja orientatsioon: vahvli käsitsemishoob suudab vahvlit täpselt positsioneerida ja orienteerida, et tagada õige joondus ja asend järgnevate töötlemis- või mõõtmistoimingute jaoks.
3. Kinnitamine ja vabastamine: vahvlite käsitsemisvarred on tavaliselt varustatud haaratsidega, millega saab vahvleid ohutult kinnitada ja vajadusel vabastada, et tagada vahvlite ohutu teisaldamine ja käsitsemine.
4. Automaatne juhtimine: vahvlite käitlemise õlg on varustatud täiustatud juhtimissüsteemiga, mis suudab automaatselt täita etteantud toiminguid, parandada tootmise efektiivsust ja vähendada inimlikke vigu.
Omadused ja eelised
1.Täpsed mõõtmed ja termiline stabiilsus.
2.Kõrge spetsiifiline jäikus ja suurepärane termiline ühtlus, pikaajaline kasutamine ei ole lihtne painutada deformatsiooni.
3. Sellel on sile pind ja hea kulumiskindlus, seega saab kiipi ohutult käsitseda ilma osakeste saastumiseta.
4.Ränikarbiidi eritakistus 106-108Ω, mittemagnetiline, kooskõlas anti-ESD spetsifikatsiooni nõuetele; See võib takistada staatilise elektri kogunemist kiibi pinnale.
5. Hea soojusjuhtivus, madal paisumistegur.
