Semicera tutvustabVahvlikassetihoidja, kriitiline lahendus pooljuhtplaatide turvaliseks ja tõhusaks käitlemiseks. See kandur on loodud vastama pooljuhtide tööstuse rangetele nõuetele, tagades teie vahvlite kaitse ja terviklikkuse kogu tootmisprotsessi vältel.
Peamised omadused:
•Tugev konstruktsioon:TheVahvlikassetihoidjaon ehitatud kvaliteetsetest, vastupidavatest materjalidest, mis peavad vastu pooljuhtkeskkonna karmidele, pakkudes usaldusväärset kaitset saastumise ja füüsiliste kahjustuste eest.
•Täpne joondamine:See kandur, mis on loodud vahvlite täpseks joondamiseks, tagab, et vahvlid püsivad kindlalt paigal, minimeerides transportimise ajal valesti joondamise või kahjustumise riski.
•Lihtne käsitsemine:Kasutamise hõlbustamiseks ergonoomiliselt kujundatud kandur lihtsustab peale- ja mahalaadimisprotsessi, parandades töövoo tõhusust puhtas ruumis.
•Ühilduvus:Ühildub paljude erinevate suuruste ja tüüpidega, muutes selle mitmekülgseks erinevate pooljuhtide tootmise vajaduste jaoks.
Kogege Semicera's võrratut kaitset ja mugavustVahvlikassetihoidja. Meie kandur on loodud vastama pooljuhtide tootmise kõrgeimatele standarditele, tagades, et teie vahvlid jäävad algusest lõpuni puutumata seisukorras. Usaldage Semicera't, et tagada teie kõige kriitilisemate protsesside jaoks vajalik kvaliteet ja usaldusväärsus.
| Üksused | Tootmine | Uurimine | Mannekeen |
| Kristalli parameetrid | |||
| Polütüüp | 4H | ||
| Pinna orientatsiooni viga | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrilised parameetrid | |||
| Dopant | n-tüüpi lämmastik | ||
| Vastupidavus | 0,015-0,025 oomi · cm | ||
| Mehaanilised parameetrid | |||
| Läbimõõt | 150,0±0,2 mm | ||
| Paksus | 350±25 μm | ||
| Esmane tasane orientatsioon | [1-100]±5° | ||
| Esmane lame pikkus | 47,5±1,5 mm | ||
| Teisene korter | Mitte ühtegi | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Vibu | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| lõime | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Esiosa (Si-pinna) karedus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikrotoru tihedus | <1 tk/cm2 | <10 tk/cm2 | <15 tk/cm2 |
| Metalli lisandid | ≤5E10 aatomit/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Esiosa kvaliteet | |||
| Esiosa | Si | ||
| Pinnaviimistlus | Si-face CMP | ||
| Osakesed | ≤60ea/vahv (suurus≥0,3μm) | NA | |
| Kriimud | ≤5ea/mm. Kumulatiivne pikkus ≤ Läbimõõt | Kumulatiivne pikkus≤2*Läbimõõt | NA |
| Apelsinikoor/süvendid/plekid/triibud/praod/saastumine | Mitte ühtegi | NA | |
| Servakillud/sõled/murd/kuuskantplaadid | Mitte ühtegi | ||
| Polütüüpsed alad | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pindala≤20% | Kumulatiivne pindala≤30% |
| Eesmine lasermärgistus | Mitte ühtegi | ||
| Selja kvaliteet | |||
| Tagumine viimistlus | C-face CMP | ||
| Kriimud | ≤5ea/mm, kumulatiivne pikkus ≤2*läbimõõt | NA | |
| Tagakülje defektid (servalõigud/taanded) | Mitte ühtegi | ||
| Selja karedus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Tagumine lasermärgistus | 1 mm (ülemisest servast) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakendamine | |||
| Pakendamine | Epi-valmis vaakumpakendiga Mitme vahvliga kasseti pakend | ||
| *Märkused: "NA" tähendab, et taotlust pole. Üksused, mida pole mainitud, võivad viidata SEMI-STD-le. | |||
