Tantaalkarbiidiga kaetud sustseptori tugiplaaton sustseptor või tugistruktuur, mis on kaetud õhukese kihigatantaalkarbiid. Selle katte saab moodustada sustseptori pinnale selliste meetoditega nagu füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD) või keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), mis annab sustseptorile paremad omadused.tantaalkarbiid.
Semicera pakub erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid.Semicera juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti (Grafiitkattega TaC sustseptor) ja reaktori põhikomponentide eluea pikendamine. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning Semicera on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.
Pärast aastatepikkust arengut on Semicera alistanud tehnoloogiaCVD TaCteadus- ja arendusosakonna ühiste jõupingutustega. SiC vahvlite kasvuprotsessis on defektid kerged tekkima, kuid pärast kasutamistTaC, on erinevus märkimisväärne. Allpool on võrdlus vahvlitest koos TaC-ga ja ilma, samuti Simicera osade üksikkristallide kasvatamiseks.
Tantaalkarbiidiga kaetud aluse tugiplaatide peamised omadused on järgmised:
1. Kõrge temperatuuri stabiilsus: Tantaalkarbiidil on suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, muutes kaetud aluse tugiplaadi sobivaks tugivajaduste jaoks kõrge temperatuuriga töökeskkonnas.
2. Korrosioonikindlus: Tantaalkarbiidist kate on hea korrosioonikindlusega, talub keemilist korrosiooni ja oksüdatsiooni ning pikendab aluse kasutusiga.
3. Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: Tantaalkarbiidi katte kõrge kõvadus annab aluse tugiplaadile hea kulumiskindluse, mis sobib kõrge kulumiskindlust nõudvatel juhtudel.
4. Keemiline stabiilsus: Tantaalkarbiidil on kõrge stabiilsus erinevate keemiliste ainete suhtes, mistõttu kaetud alusplaat toimib hästi mõnes söövitavas keskkonnas.
TaC-ga ja ilma
Pärast TaC kasutamist (paremal)
Pealegi Semicera omaTaC-kattega tootedneil on pikem kasutusiga ja suurem vastupidavus kõrgele temperatuurile võrreldesSiC katted.Laboratoorsed mõõtmised on näidanud, et meieTaC kattedsuudab pidevalt töötada temperatuuril kuni 2300 kraadi Celsiuse järgi pikema aja jooksul. Allpool on mõned näited meie näidistest:
