Tantaalkarbiidiga kaetud grafiitlehton õhukese kihiga grafiitmaterjaltantaalkarbiidsubstraadi pinnale. Õhuke tantaalkarbiidi kiht moodustatakse tavaliselt grafiidist substraadi pinnale selliste meetodite abil nagu füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD) või keemiline aurustamine-sadestamine (CVD). Sellel kattel on suurepärased omadused, nagu kõrge kõvadus, suurepärane kulumiskindlus, korrosioonikindlus ja kõrge temperatuuri stabiilsus.
Semicera pakub erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid.Semicera juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti (Grafiitkattega TaC sustseptor) ja reaktori põhikomponentide eluea pikendamine. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning Semicera on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.
Pärast aastatepikkust arengut on Semicera alistanud tehnoloogiaCVD TaCteadus- ja arendusosakonna ühiste jõupingutustega. SiC vahvlite kasvuprotsessis on defektid kerged tekkima, kuid pärast kasutamistTaC, on erinevus märkimisväärne. Allpool on võrdlus vahvlitest koos TaC-ga ja ilma, samuti Simicera osade üksikkristallide kasvatamiseks.
Tantaalkarbiidiga kaetud grafiitlehe peamised eelised on järgmised:
1. Kõrge temperatuuritaluvus: Tantaalkarbiidil on kõrge sulamistemperatuur ja suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, mis muudab kaetud grafiitlehe sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga keskkondades.
2. Korrosioonikindlus: Tantaalkarbiidi kate võib vastu pidada paljude keemiliste söövitavate ainete erosioonile ja pikendada materjali kasutusiga.
3. Kõrge kõvadus: Tantaalkarbiidi õhukese kihi kõrge kõvadus tagab hea kulumiskindluse ja sobib rakendustele, mis nõuavad suurt kulumiskindlust.
4. Keemiline stabiilsus: Tantaalkarbiidkattel on suurepärane stabiilsus keemilise korrosiooni suhtes ja see sobib kasutamiseks mõnes söövitavas keskkonnas.
TaC-ga ja ilma
Pärast TaC kasutamist (paremal)
Pealegi Semicera omaTaC-kattega tootedneil on pikem kasutusiga ja suurem vastupidavus kõrgele temperatuurile võrreldesSiC katted.Laboratoorsed mõõtmised on näidanud, et meieTaC kattedsuudab pidevalt töötada temperatuuril kuni 2300 kraadi Celsiuse järgi pikema aja jooksul. Allpool on mõned näited meie näidistest:
