Semicera pakub erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid.Semicera juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti (Grafiitkattega TaC sustseptor) ja reaktori põhikomponentide eluea pikendamine. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning Semicera on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.
Tantaalkarbiidiga kaetud vahvlikandjaid kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides laialdaselt vahvlite töötlemisel ja käitlemisel. Need pakuvad stabiilset tuge ja kaitset, et tagada vahvlite ohutus, täpsus ja järjepidevus tootmisprotsessi ajal. Tantaalkarbiidkatted võivad pikendada kanduri kasutusiga, vähendada kulusid ning parandada pooljuhttoodete kvaliteeti ja töökindlust.
Tantaalkarbiidiga kaetud vahvlikanduri kirjeldus on järgmine:
1. Materjali valik: Tantaalkarbiid on materjal, millel on suurepärane jõudlus, kõrge kõvadus, kõrge sulamistemperatuur, korrosioonikindlus ja suurepärased mehaanilised omadused, mistõttu seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisprotsessis.
2. Pinnakate: Tantaalkarbiidkate kantakse vahvlikandja pinnale spetsiaalse katmisprotsessi kaudu, et moodustada ühtlane ja tihe tantaalkarbiidkate. See kate võib pakkuda täiendavat kaitset ja kulumiskindlust, olles samal ajal hea soojusjuhtivusega.
3. Tasasus ja täpsus: Tantaalkarbiidiga kaetud vahvlikandjal on kõrge tasasus ja täpsus, mis tagab vahvlite stabiilsuse ja täpsuse tootmisprotsessi ajal. Kanduri pinna tasasus ja viimistlus on vahvli kvaliteedi ja jõudluse tagamiseks kriitilise tähtsusega.
4. Temperatuuri stabiilsus: Tantaalkarbiidiga kaetud vahvlikandurid suudavad säilitada stabiilsust kõrge temperatuuriga keskkondades ilma deformatsiooni või lõdvenemiseta, tagades vahvlite stabiilsuse ja konsistentsi kõrge temperatuuriga protsessides.
5. Korrosioonikindlus: Tantaalkarbiidist katted on suurepärase korrosioonikindlusega, taluvad kemikaalide ja lahustite erosiooni ning kaitsevad kandjat vedeliku ja gaasi korrosiooni eest.
TaC-ga ja ilma
Pärast TaC kasutamist (paremal)
Pealegi Semicera omaTaC-kattega tootedneil on pikem kasutusiga ja suurem vastupidavus kõrgele temperatuurile võrreldesSiC katted.Laboratoorsed mõõtmised on näidanud, et meieTaC kattedsuudab pidevalt töötada temperatuuril kuni 2300 kraadi Celsiuse järgi pikema aja jooksul. Allpool on mõned näited meie näidistest:
