TaC kateon oluline materjalikate, mis valmistatakse tavaliselt grafiitalusel metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) tehnoloogial. Sellel kattel on suurepärased omadused, nagu kõrge kõvadus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge temperatuuritaluvus ja keemiline stabiilsus, ning see sobib mitmesuguste suure nõudlusega insenerirakenduste jaoks.
MOCVD-tehnoloogia on tavaliselt kasutatav õhukese kile kasvutehnoloogia, mis ladestab soovitud ühendi kile substraadi pinnale, pannes metalli orgaanilised prekursorid reageerima reaktiivsete gaasidega kõrgel temperatuuril. ValmistamiselTaC kate, valides sobivad metallist orgaanilised lähteained ja süsinikuallikad, kontrollides reaktsioonitingimusi ja sadestamise parameetreid, saab grafiitalusele sadestada ühtlase ja tiheda TaC-kile.
Semicera pakub erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid.Semicera juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti (Grafiitkattega TaC sustseptor) ja reaktori põhikomponentide eluea pikendamine. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning Semicera on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.
Pärast aastatepikkust arengut on Semicera alistanud tehnoloogiaCVD TaCteadus- ja arendusosakonna ühiste jõupingutustega. SiC vahvlite kasvuprotsessis on defektid kerged tekkima, kuid pärast kasutamistTaC, on erinevus märkimisväärne. Allpool on võrdlus vahvlitest koos TaC-ga ja ilma, samuti Simicera osade üksikkristallide kasvatamiseks.
TaC-ga ja ilma
Pärast TaC kasutamist (paremal)
Pealegi Semicera omaTaC-kattega tootedneil on pikem kasutusiga ja suurem vastupidavus kõrgele temperatuurile võrreldesSiC katted.Laboratoorsed mõõtmised on näidanud, et meieTaC kattedsuudab pidevalt töötada temperatuuril kuni 2300 kraadi Celsiuse järgi pikema aja jooksul. Allpool on mõned näited meie näidistest:
