Sissejuhatus CVD TaC kattesse:
CVD TaC Coating on tehnoloogia, mis kasutab tantaalkarbiidi (TaC) kattekihi sadestamiseks substraadi pinnale keemilist aurustamist. Tantaalkarbiid on suure jõudlusega keraamiline materjal, millel on suurepärased mehaanilised ja keemilised omadused. CVD-protsess tekitab gaasireaktsiooni kaudu substraadi pinnale ühtlase TaC-kile.
Peamised omadused:
Suurepärane kõvadus ja kulumiskindlus: Tantaalkarbiidil on äärmiselt kõrge kõvadus ja CVD TaC kate võib oluliselt parandada aluspinna kulumiskindlust. See muudab katte ideaalseks kasutamiseks suure kulumiskeskkonnas, näiteks lõikeriistad ja vormid.
Kõrge temperatuuri stabiilsus: TaC katted kaitsevad kriitilisi ahju ja reaktori komponente temperatuuril kuni 2200°C, näidates head stabiilsust. See säilitab keemilise ja mehaanilise stabiilsuse äärmuslikes temperatuuritingimustes, muutes selle sobivaks kõrgel temperatuuril töötlemiseks ja kasutamiseks kõrge temperatuuriga keskkondades.
Suurepärane keemiline stabiilsus: Tantaalkarbiidil on tugev korrosioonikindlus enamiku hapete ja leeliste suhtes ning CVD TaC kate võib tõhusalt ära hoida aluspinna kahjustamist söövitavas keskkonnas.
Kõrge sulamistemperatuur: Tantaalkarbiidil on kõrge sulamistemperatuur (ligikaudu 3880 °C), mis võimaldab CVD TaC Coating'i kasutada äärmuslikes kõrge temperatuuri tingimustes ilma sulamise või lagunemiseta.
Suurepärane soojusjuhtivus: TaC-kattel on kõrge soojusjuhtivus, mis aitab kõrge temperatuuriga protsessides soojust tõhusalt hajutada ja vältida lokaalset ülekuumenemist.
Võimalikud rakendused:
• Galliumnitriidi (GaN) ja ränikarbiidi epitaksiaalse CVD reaktori komponendid, sealhulgas vahvlikandjad, satelliiditaldrikud, dušiotsad, laed ja sustseptorid
• Ränikarbiidi, galliumnitriidi ja alumiiniumnitriidi (AlN) kristallide kasvatamise komponendid, sealhulgas tiiglid, seemnehoidikud, juhtrõngad ja filtrid
• Tööstuslikud komponendid, sealhulgas takistuskütteelemendid, sissepritsepihustid, maskeerimisrõngad ja jootmisrakised
Rakenduse funktsioonid:
• Stabiilne temperatuur üle 2000°C, võimaldades töötada äärmuslikel temperatuuridel
• Vastupidav vesinikule (Hz), ammoniaagile (NH3), monosilaanile (SiH4) ja ränile (Si), pakkudes kaitset karmides keemilistes keskkondades
• Selle soojuslöögikindlus võimaldab kiiremaid töötsükleid
• Grafiit on tugeva nakkuvusega, mis tagab pika kasutusea ja ei kattekihti.
• Ülikõrge puhtusastmega ebavajalike lisandite või saasteainete eemaldamiseks
• Konformne kattekiht kuni kitsaste mõõtmete tolerantsideni
Tehnilised näitajad:
Tiheda tantaalkarbiidkatete valmistamine CVD abil:
Kõrge kristallilisuse ja suurepärase ühtlusega TAC-kate:
CVD TAC COATING Technical Parameters_Semicera:
Ülaltoodud on tüüpilised väärtused.
