TaC-kattega grafiidist juhtrõngadviitavad õhukese kihi ladestumiseletantaalkarbiidgrafiidist juhtrõnga pinnale, et parandada selle kulumiskindlust, vastupidavust kõrgele temperatuurile ja keemilist stabiilsust. See kate moodustatakse tavaliselt grafiidi juhtrõnga pinnale selliste meetodite abil nagu füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD) või keemiline aurustamine-sadestamine (CVD).
Semicera pakub erinevatele komponentidele ja kandjatele spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid.Semicera juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti (Grafiitkattega TaC sustseptor) ja reaktori põhikomponentide eluea pikendamine. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning Semicera on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.
Pärast aastatepikkust arengut on Semicera alistanud tehnoloogiaCVD TaCteadus- ja arendusosakonna ühiste jõupingutustega. SiC vahvlite kasvuprotsessis on defektid kerged tekkima, kuid pärast kasutamistTaC, on erinevus märkimisväärne. Allpool on võrdlus vahvlitest koos TaC-ga ja ilma, samuti Simicera osade üksikkristallide kasvatamiseks.
TaC-ga kaetud grafiidist juhtrõngaste peamised omadused on järgmised:
1. Kõrge temperatuuritaluvus: TaC-kattel on suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus ja see võib säilitada stabiilsust kõrge temperatuuriga keskkondades.
2. Kulumiskindlus: Tantaalkarbiidi õhukese kihi kõrge kõvadus annab juhtrõngale hea kulumiskindluse ja pikendab selle kasutusiga.
3. Keemiline stabiilsus: TaC-kattel on kõrge stabiilsus keemilise korrosiooni vastu, mistõttu see sobib kasutamiseks mõnes söövitavas keskkonnas.
4. Vähendage hõõrdumist: TaC kate võib tõhusalt vähendada hõõrdumist grafiidi juhtrõnga ja muude komponentide vahel ning parandada mehaaniliste tihendite tõhusust.
TaC-ga ja ilma
Pärast TaC kasutamist (paremal)
Pealegi Semicera omaTaC-kattega tootedneil on pikem kasutusiga ja suurem vastupidavus kõrgele temperatuurile võrreldesSiC katted.Laboratoorsed mõõtmised on näidanud, et meieTaC kattedsuudab pidevalt töötada temperatuuril kuni 2300 kraadi Celsiuse järgi pikema aja jooksul. Allpool on mõned näited meie näidistest:
