Toote ülevaade
TheRäniga immutatud ränikarbiidist (SiC) laba ja vahvlikandjaon loodud vastama pooljuhtide termilise töötlemise rakenduste nõudlikele nõuetele. Kõrge puhtusastmega SiC-st valmistatud ja räni immutamise abil täiustatud toode pakub ainulaadset kombinatsiooni kõrgel temperatuuril toimimisest, suurepärasest soojusjuhtivusest, korrosioonikindlusest ja silmapaistvast mehaanilisest tugevusest.
Integreerides täiustatud materjaliteaduse täppistootmisega, tagab see lahendus pooljuhtide tootjatele suurepärase jõudluse, töökindluse ja vastupidavuse.
Põhiomadused
1.Erakordne vastupidavus kõrgele temperatuurile
Üle 2700 °C sulamistemperatuuriga SiC materjalid on äärmusliku kuumuse korral oma olemuselt stabiilsed. Räni immutamine suurendab veelgi nende termilist stabiilsust, võimaldades neil taluda pikaajalist kokkupuudet kõrgete temperatuuridega ilma struktuuri nõrgenemise või jõudluse halvenemiseta.
2.Suurepärane soojusjuhtivus
Räniga immutatud SiC erakordne soojusjuhtivus tagab ühtlase soojusjaotuse, vähendades termilist pinget kriitilistes töötlemisetappides. See omadus pikendab seadmete eluiga ja minimeerib tootmise seisakuid, muutes selle ideaalseks kõrgel temperatuuril termiliseks töötlemiseks.
3.Oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlus
Pinnale moodustub looduslikult tugev ränioksiidi kiht, mis tagab suurepärase vastupidavuse oksüdatsioonile ja korrosioonile. See tagab pikaajalise töökindluse karmides töökeskkondades, kaitstes nii materjali kui ka ümbritsevaid komponente.
4.Kõrge mehaaniline tugevus ja kulumiskindlus
Räniga immutatud ränikarbiidil on suurepärane survetugevus ja kulumiskindlus, säilitades selle konstruktsiooni terviklikkuse suure koormuse ja kõrge temperatuuri tingimustes. See vähendab kulumisega seotud kahjustuste ohtu, tagades ühtlase jõudluse pikemate kasutustsüklite jooksul.
Tehnilised andmed
| Toote nimi | SC-RSiC-Si |
| Materjal | Räni immutamine ränikarbiidi kompaktne (kõrge puhtusastmega) |
| Rakendused | Pooljuhtide kuumtöötlusosad, pooljuhtide tootmisseadmete osad |
| Tarnevorm | Vormitud korpus (paagutatud korpus) |
| Koosseis | Mehaaniline omadus | Youngi moodul (GPa) | Painutustugevus (MPa) | ||
| Koostis (mahu%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Puistetihedus (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Kuumuskindel temperatuur°C | 1350 | Poissoni suhe | 0,18 (RT) | ||
| Soojusomadused | Soojusjuhtivus (W/(m· K)) | Erisoojusvõimsus (kJ/(kg·K)) | Soojuspaisumise koefitsient (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT ~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700-1200°C | 4,3 x 10-6 | |
| Lisandite sisaldus ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Sisu määr | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Rakendused
▪Pooljuhtide termiline töötlemine:Ideaalne selliste protsesside jaoks nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), epitaksiaalne kasvatamine ja lõõmutamine, kus täpne temperatuuri reguleerimine ja materjali vastupidavus on kriitilise tähtsusega.
▪Vahvlikandjad ja labad:Mõeldud vahvlite turvaliseks hoidmiseks ja transportimiseks kõrgel temperatuuril termilise töötlemise ajal.
▪Ekstreemsed töökeskkonnad: Sobib seadetele, mis nõuavad vastupidavust kuumusele, keemilisele kokkupuutele ja mehaanilisele pingele.
Räniga immutatud SiC eelised
Kõrge puhtusastmega ränikarbiidi ja täiustatud räni immutustehnoloogia kombinatsioon tagab võrratu jõudluse eelised:
▪Täpsus:Parandab pooljuhtide töötlemise täpsust ja kontrolli.
▪Stabiilsus:Talub karmi keskkonda ilma funktsionaalsust kahjustamata.
▪Pikaealisus:Pikendab pooljuhtide tootmisseadmete kasutusiga.
▪Tõhusus:Parandab tootlikkust, tagades usaldusväärsed ja ühtlased tulemused.
Miks valida meie räni immutatud ränikarbiidi lahendused?
At Semicera, oleme spetsialiseerunud pooljuhtide tootjate vajadustele kohandatud suure jõudlusega lahenduste pakkumisele. Meie räniga immutatud ränikarbiidist laba ja vahvlikandur läbivad tööstusstandarditele vastamiseks ranged testid ja kvaliteeditagamise. Valides Semicera, saate juurdepääsu tipptasemel materjalidele, mis on loodud teie tootmisprotsesside optimeerimiseks ja tootmisvõimaluste suurendamiseks.
Tehnilised andmed
▪Materjali koostis:Kõrge puhtusastmega ränikarbiid räni immutusega.
▪Töötemperatuuri vahemik:Kuni 2700°C.
▪ Soojusjuhtivus:Erakordselt kõrge ühtlase soojusjaotuse tagamiseks.
▪Vastupidavuse omadused:Oksüdatsiooni-, korrosiooni- ja kulumiskindel.
▪Rakendused:Ühildub erinevate pooljuhtide termotöötlussüsteemidega.
Võtke meiega ühendust
Kas olete valmis oma pooljuhtide tootmisprotsessi täiustama? Võtke ühendustSemiceratäna, et saada lisateavet meie räniimmutatud ränikarbiidist aeru ja vahvlikanduri kohta.
▪E-post: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Asukoht:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo kõrgtehnoloogia, tsoon, Zhejiangi provints, 315201, Hiina
