Ränikarbiidist aluspinnad | SiC vahvlid

Ränikarbiidsubstraadid | SiC vahvlite esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. on juhtiv tarnija, kes on spetsialiseerunud vahvlitele ja täiustatud pooljuhttarvikutele. Oleme pühendunud kvaliteetsete, usaldusväärsete ja uuenduslike toodete pakkumisele pooljuhtide tootmisele, fotogalvaanilisele tööstusele ja muudele seotud valdkondadele.

Meie tootesari hõlmab SiC/TaC-ga kaetud grafiittooteid ja keraamilisi tooteid, mis hõlmavad erinevaid materjale, nagu ränikarbiid, räninitriid ja alumiiniumoksiid jne.

Praegu oleme ainus tootja, kes pakub 99,9999% puhtusastmega SiC katet ja 99,9% ümberkristalliseeritud ränikarbiidi. Maksimaalne SiC katte pikkus on 2640 mm.

Saatke meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Ränikarbiidist (SiC) monokristallmaterjalil on suur ribalaius (~ Si 3 korda), kõrge soojusjuhtivus (~ Si 3,3 korda või GaAs 10 korda), kõrge elektronide küllastumise migratsioonikiirus (~ Si 2,5 korda), suur elektriline purunemine väli (~ Si 10 korda või GaAs 5 korda) ja muud silmapaistvad omadused.

SiC-seadmetel on asendamatud eelised kõrge temperatuuri, kõrgsurve, kõrgsageduse, suure võimsusega elektroonikaseadmete ja äärmuslike keskkonnarakenduste, nagu kosmose-, sõja-, tuumaenergia jne valdkonnas ning need korvavad praktiliselt traditsiooniliste pooljuhtmaterjalist seadmete defektid. rakendustes ja muutuvad järk-järgult jõuliste pooljuhtide peavooluks.

4H-SiC ränikarbiidi substraadi spetsifikatsioonid

Üksus项目	Tehnilised andmed参数
Polütüüp 晶型	4H-SiC	6H- SiC
Läbimõõt 晶圆直径	2 tolli \| 3 tolli \| 4 tolli \| 6 tolli	2 tolli \| 3 tolli \| 4 tolli \| 6 tolli
Paksus 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Juhtivus 导电类型	N – tüüp / Poolisoleeriv N型导电片/ 半绝缘片	N – tüüp / Poolisoleeriv N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 ( lämmastik ) V ( vanaadium )	N2 ( lämmastik ) V ( vanaadium )
Orienteerumine 晶向	Teljel <0001> Teljest väljas <0001> 4°	Teljel <0001> Teljest väljas <0001> 4°
Vastupidavus 电阻率	0,015 ~ 0,03 oomi-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 oomi-cm (6H-N)
Mikrotoru tihedus (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Vibu / lõime 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Pind 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Hinne 产品等级	Tootmine / Uurimisaste	Tootmine / Uurimisaste
Kristallide virnastamise järjestus 堆积方式	ABCB	ABCABC
Võre parameeter 晶格参数	a = 3,076 A, c = 10,053 A	a = 3,073 A, c = 15,117 A
Nt/eV (ribavahe) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (dielektriline konstant) 介电常数	9.6	9.66
Murdumisnäitaja 折射率	n0 = 2,719 ne = 2,777	n0 = 2,707, ne = 2,755

6H-SiC ränikarbiidi substraadi spetsifikatsioonid

Üksus项目	Tehnilised andmed参数
Polütüüp 晶型	6H-SiC
Läbimõõt 晶圆直径	4 tolli \| 6 tolli
Paksus 厚度	350 μm ~ 450 μm
Juhtivus 导电类型	N – tüüp / Poolisoleeriv N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (lämmastik) V ( vanaadium )
Orienteerumine 晶向	<0001> välja 4°± 0,5°
Vastupidavus 电阻率	0,02 ~ 0,1 oomi-cm (tüüp 6H-N)
Mikrotoru tihedus (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Vibu / lõime 翘曲度	≤25 μm
Pind 表面处理	Si Face: CMP, Epi-valmis C Esikülg: optiline poleerimine
Hinne 产品等级	Uurimistöö hinne