SemiceraKeraamiline ränikarbiidi kateon ülikõvast ja kulumiskindlast ränikarbiidmaterjalist (SiC) valmistatud suure jõudlusega kaitsekate. Kate sadestatakse tavaliselt substraadi pinnale CVD- või PVD-meetodilränikarbiidi osakesed, mis tagab suurepärase keemilise korrosioonikindluse ja kõrge temperatuuri stabiilsuse. Seetõttu kasutatakse ränikarbiidi keraamilist katet laialdaselt pooljuhtide tootmisseadmete põhikomponentides.
Pooljuhtide tootmises,SiC katetalub ülikõrgeid temperatuure kuni 1600°C, seetõttu kasutatakse ränikarbiidist keraamilist katet sageli seadmete või tööriistade kaitsekihina, et vältida kahjustusi kõrgel temperatuuril või söövitavas keskkonnas.
Samal ajalränikarbiidi keraamiline katetalub hapete, leeliste, oksiidide ja muude keemiliste reaktiivide erosiooni ning on kõrge korrosioonikindlusega erinevate keemiliste ainete suhtes. Seetõttu sobib see toode pooljuhtidetööstuses erinevates söövitavates keskkondades.
Lisaks on ränikarbiidil teiste keraamiliste materjalidega võrreldes kõrgem soojusjuhtivus ja see suudab tõhusalt soojust juhtida. See omadus määrab, et pooljuhtprotsessides, mis nõuavad täpset temperatuuri reguleerimist, on kõrge soojusjuhtivusKeraamiline ränikarbiidi kateaitab soojust ühtlaselt hajutada, vältida lokaalset ülekuumenemist ning tagada seadme töö optimaalsel temperatuuril.
| CVD sic katte põhilised füüsikalised omadused | |
| Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
| Kristalli struktuur | FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud |
| Tihedus | 3,21 g/cm³ |
| Kõvadus | 2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g) |
| Tera suurus | 2-10 μm |
| Keemiline puhtus | 99,99995% |
| Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
| Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
| Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
| Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
| Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
| Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
