SemiceraSiC konsoolne vahvli mõlaon loodud vastama kaasaegse pooljuhtide tootmise nõudmistele. Seevahvli mõlapakub suurepärast mehaanilist tugevust ja soojustakistust, mis on kriitilise tähtsusega vahvlite käsitsemisel kõrge temperatuuriga keskkondades.
SiC konsoolkonstruktsioon võimaldab täpset vahvlite paigutamist, vähendades käsitsemise ajal kahjustamise ohtu. Selle kõrge soojusjuhtivus tagab, et vahvel püsib stabiilsena ka ekstreemsetes tingimustes, mis on tootmise efektiivsuse säilitamiseks kriitilise tähtsusega.
Lisaks oma struktuurilistele eelistele on Semicera omaSiC konsoolne vahvli mõlapakub eeliseid ka kaalu ja vastupidavuse osas. Kerge konstruktsioon muudab selle käsitsemise ja olemasolevatesse süsteemidesse integreerimise lihtsamaks, samas kui suure tihedusega SiC materjal tagab pikaajalise vastupidavuse nõudlikes tingimustes.
Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused | |
Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
Töötemperatuur (°C) | 1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond) |
SiC sisu | > 99,96% |
Tasuta Si sisu | < 0,1% |
Puistetihedus | 2,60-2,70 g/cm3 |
Ilmne poorsus | < 16% |
Survetugevus | > 600 MPa |
Külm paindetugevus | 80–90 MPa (20 °C) |
Kuum paindetugevus | 90–100 MPa (1400 °C) |
Soojuspaisumine @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Soojusjuhtivus @1200°C | 23 W/m•K |
Elastsusmoodul | 240 GPa |
Soojuslöögikindlus | Ülimalt hea |