PFA kassett

Lühikirjeldus:

PFA kassett– Semicera PFA-kassetiga, mis on ideaalne lahendus pooljuhtide valmistamisel pooljuhtide ohutuks ja tõhusaks käitlemiseks, saate kogeda võrratut kemikaalikindlust ja vastupidavust.


Toote üksikasjad

Tootesildid

Semiceraon hea meel pakkudaPFA kassett, esmaklassiline valik vahvlite käsitsemiseks keskkondades, kus kemikaalikindlus ja vastupidavus on ülimalt tähtsad. Kõrge puhtusastmega perfluoroalkoksü (PFA) materjalist valmistatud kassett on loodud taluma pooljuhtide valmistamise kõige nõudlikumaid tingimusi, tagades teie vahvlite ohutuse ja terviklikkuse.

Võrratu keemiline vastupidavusThePFA kassetton loodud pakkuma suurepärast vastupidavust paljudele kemikaalidele, muutes selle ideaalseks valikuks protsesside jaoks, mis hõlmavad agressiivseid happeid, lahusteid ja muid tugevatoimelisi kemikaale. See tugev keemiline vastupidavus tagab, et kassett jääb terveks ja töökorras ka kõige söövitavamates keskkondades, pikendades seeläbi selle eluiga ja vähendades vajadust sagedase vahetamise järele.

Kõrge puhtusastmega ehitusSemicera omaPFA kassetton valmistatud ülipuhast PFA materjalist, mis on vahvli töötlemise ajal saastumise vältimisel kriitilise tähtsusega. See kõrge puhtusastmega konstruktsioon minimeerib osakeste tekke ja keemilise leostumise riski, tagades, et teie vahvlid on kaitstud lisandite eest, mis võivad kahjustada nende kvaliteeti.

Täiustatud vastupidavus ja jõudlusLoodud vastupidavust silmas pidadesPFA kassettsäilitab oma struktuurse terviklikkuse äärmuslikes temperatuurides ja karmides töötlemistingimustes. Olenemata sellest, kas see on kõrgete temperatuuride käes või korduvalt käsitsetud, säilitab see kassett oma kuju ja jõudluse, pakkudes pikaajalist töökindlust nõudlikes tootmiskeskkondades.

Täppistehnika turvaliseks käsitsemiseksTheSemicera PFA kassettomab täpset konstruktsiooni, mis tagab vahvlite turvalise ja stabiilse käsitsemise. Iga pesa on hoolikalt kavandatud hoidma vahvleid kindlalt paigal, vältides mis tahes liikumist või nihkumist, mis võib põhjustada kahju. See täppistehnoloogia toetab vahvlite ühtlast ja täpset paigutust, aidates kaasa protsessi üldisele tõhususele.

Mitmekülgne rakendus kõigis protsessidesTänu oma suurepärastele materjaliomadustele onPFA kassetton piisavalt mitmekülgne, et seda saaks kasutada pooljuhtide valmistamise erinevates etappides. See sobib eriti hästi märgsöövitamiseks, keemiliseks aurustamiseks sadestamiseks (CVD) ja muudeks protsessideks, mis hõlmavad karmi keemilist keskkonda. Selle kohandatavus muudab selle oluliseks tööriistaks protsessi terviklikkuse ja vahvlikvaliteedi säilitamisel.

Pühendumine kvaliteedile ja innovatsioonileSemicera on pühendunud toodete pakkumisele, mis vastavad tööstusharu kõrgeimatele standarditele. ThePFA kassetton selle pühendumuse näide, pakkudes usaldusväärset lahendust, mis integreerub sujuvalt teie tootmisprotsessidesse. Iga kassett läbib range kvaliteedikontrolli tagamaks, et see vastab meie rangetele jõudluskriteeriumidele, pakkudes tipptaset, mida Semiceralt ootate.

Üksused

Tootmine

Uurimine

Mannekeen

Kristalli parameetrid

Polütüüp

4H

Pinna orientatsiooni viga

<11-20 >4±0,15°

Elektrilised parameetrid

Dopant

n-tüüpi lämmastik

Vastupidavus

0,015-0,025 oomi · cm

Mehaanilised parameetrid

Läbimõõt

150,0±0,2 mm

Paksus

350±25 μm

Esmane tasane orientatsioon

[1-100]±5°

Esmane lame pikkus

47,5±1,5 mm

Teisene korter

Mitte ühtegi

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Vibu

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

lõime

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Esiosa (Si-pinna) karedus (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktuur

Mikrotoru tihedus

<1 tk/cm2

<10 tk/cm2

<15 tk/cm2

Metalli lisandid

≤5E10 aatomit/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Esiosa kvaliteet

Ees

Si

Pinnaviimistlus

Si-face CMP

Osakesed

≤60ea/vahv (suurus≥0,3μm)

NA

Kriimud

≤5ea/mm. Kumulatiivne pikkus ≤ Läbimõõt

Kumulatiivne pikkus≤2*Läbimõõt

NA

Apelsinikoor/süvendid/plekid/triibud/praod/saastumine

Mitte ühtegi

NA

Servakillud/sõled/murd/kuuskantplaadid

Mitte ühtegi

Polütüüpsed alad

Mitte ühtegi

Kumulatiivne pindala≤20%

Kumulatiivne pindala≤30%

Eesmine lasermärgistus

Mitte ühtegi

Selja kvaliteet

Tagumine viimistlus

C-face CMP

Kriimud

≤5ea/mm, kumulatiivne pikkus ≤2*läbimõõt

NA

Tagakülje defektid (servalõigud/taanded)

Mitte ühtegi

Selja karedus

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Tagumine lasermärgistus

1 mm (ülemisest servast)

Edge

Edge

Chamfer

Pakendamine

Pakendamine

Epi-valmis vaakumpakendiga

Mitme vahvliga kasseti pakend

*Märkused: "NA" tähendab, et taotlust pole. Üksused, mida pole mainitud, võivad viidata SEMI-STD-le.

tehniline_1_2_suurus
SiC vahvlid

  • Eelmine:
  • Järgmine: