Semiceraon hea meel pakkudaPFA kassett, esmaklassiline valik vahvlite käsitsemiseks keskkondades, kus kemikaalikindlus ja vastupidavus on ülimalt tähtsad. Kõrge puhtusastmega perfluoroalkoksü (PFA) materjalist valmistatud kassett on loodud taluma pooljuhtide valmistamise kõige nõudlikumaid tingimusi, tagades teie vahvlite ohutuse ja terviklikkuse.
Võrratu keemiline vastupidavusThePFA kassetton loodud pakkuma suurepärast vastupidavust paljudele kemikaalidele, muutes selle ideaalseks valikuks protsesside jaoks, mis hõlmavad agressiivseid happeid, lahusteid ja muid tugevatoimelisi kemikaale. See tugev keemiline vastupidavus tagab, et kassett jääb terveks ja töökorras ka kõige söövitavamates keskkondades, pikendades seeläbi selle eluiga ja vähendades vajadust sagedase vahetamise järele.
Kõrge puhtusastmega ehitusSemicera omaPFA kassetton valmistatud ülipuhast PFA materjalist, mis on vahvli töötlemise ajal saastumise vältimisel kriitilise tähtsusega. See kõrge puhtusastmega konstruktsioon minimeerib osakeste tekke ja keemilise leostumise riski, tagades, et teie vahvlid on kaitstud lisandite eest, mis võivad kahjustada nende kvaliteeti.
Täiustatud vastupidavus ja jõudlusLoodud vastupidavust silmas pidadesPFA kassettsäilitab oma struktuurse terviklikkuse äärmuslikes temperatuurides ja karmides töötlemistingimustes. Olenemata sellest, kas see on kõrgete temperatuuride käes või korduvalt käsitsetud, säilitab see kassett oma kuju ja jõudluse, pakkudes pikaajalist töökindlust nõudlikes tootmiskeskkondades.
Täppistehnika turvaliseks käsitsemiseksTheSemicera PFA kassettomab täpset konstruktsiooni, mis tagab vahvlite turvalise ja stabiilse käsitsemise. Iga pesa on hoolikalt kavandatud hoidma vahvleid kindlalt paigal, vältides mis tahes liikumist või nihkumist, mis võib põhjustada kahju. See täppistehnoloogia toetab vahvlite ühtlast ja täpset paigutust, aidates kaasa protsessi üldisele tõhususele.
Mitmekülgne rakendus kõigis protsessidesTänu oma suurepärastele materjaliomadustele onPFA kassetton piisavalt mitmekülgne, et seda saaks kasutada pooljuhtide valmistamise erinevates etappides. See sobib eriti hästi märgsöövitamiseks, keemiliseks aurustamiseks sadestamiseks (CVD) ja muudeks protsessideks, mis hõlmavad karmi keemilist keskkonda. Selle kohandatavus muudab selle oluliseks tööriistaks protsessi terviklikkuse ja vahvlikvaliteedi säilitamisel.
Pühendumine kvaliteedile ja innovatsioonileSemicera on pühendunud toodete pakkumisele, mis vastavad tööstusharu kõrgeimatele standarditele. ThePFA kassetton selle pühendumuse näide, pakkudes usaldusväärset lahendust, mis integreerub sujuvalt teie tootmisprotsessidesse. Iga kassett läbib range kvaliteedikontrolli tagamaks, et see vastab meie rangetele jõudluskriteeriumidele, pakkudes tipptaset, mida Semiceralt ootate.
Üksused | Tootmine | Uurimine | Mannekeen |
Kristalli parameetrid | |||
Polütüüp | 4H | ||
Pinna orientatsiooni viga | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektrilised parameetrid | |||
Dopant | n-tüüpi lämmastik | ||
Vastupidavus | 0,015-0,025 oomi · cm | ||
Mehaanilised parameetrid | |||
Läbimõõt | 150,0±0,2 mm | ||
Paksus | 350±25 μm | ||
Esmane tasane orientatsioon | [1-100]±5° | ||
Esmane lame pikkus | 47,5±1,5 mm | ||
Teisene korter | Mitte ühtegi | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Vibu | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
lõime | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Esiosa (Si-pinna) karedus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktuur | |||
Mikrotoru tihedus | <1 tk/cm2 | <10 tk/cm2 | <15 tk/cm2 |
Metalli lisandid | ≤5E10 aatomit/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Esiosa kvaliteet | |||
Ees | Si | ||
Pinnaviimistlus | Si-face CMP | ||
Osakesed | ≤60ea/vahv (suurus≥0,3μm) | NA | |
Kriimud | ≤5ea/mm. Kumulatiivne pikkus ≤ Läbimõõt | Kumulatiivne pikkus≤2*Läbimõõt | NA |
Apelsinikoor/süvendid/plekid/triibud/praod/saastumine | Mitte ühtegi | NA | |
Servakillud/sõled/murd/kuuskantplaadid | Mitte ühtegi | ||
Polütüüpsed alad | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pindala≤20% | Kumulatiivne pindala≤30% |
Eesmine lasermärgistus | Mitte ühtegi | ||
Selja kvaliteet | |||
Tagumine viimistlus | C-face CMP | ||
Kriimud | ≤5ea/mm, kumulatiivne pikkus ≤2*läbimõõt | NA | |
Tagakülje defektid (servalõigud/taanded) | Mitte ühtegi | ||
Selja karedus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Tagumine lasermärgistus | 1 mm (ülemisest servast) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Pakendamine | |||
Pakendamine | Epi-valmis vaakumpakendiga Mitme vahvliga kasseti pakend | ||
*Märkused: "NA" tähendab, et taotlust pole. Üksused, mida pole mainitud, võivad viidata SEMI-STD-le. |