, grafiitalus on substraadi kandja ja kuumutuskeha, mis määrab otseselt kilematerjali ühtluse ja puhtuse, nii et selle kvaliteet mõjutab otseselt epitaksiaalse lehe valmistamist ja samal ajal kilede arvu suurenemisega. uses and the change of working conditions, it is very easy to wear, belonging to the consumables.
, kuid tootmisprotsessis söövitab grafiit pulbrit söövitavate gaaside ja metalli orgaaniliste ainete jäägi tõttu ning grafiidi aluse kasutusaega väheneb oluliselt.
Kattetehnoloogia esilekerkimine võib tagada pinnapulbri fikseerimise, suurendada soojusjuhtivust ja ühtlustada soojusjaotust, millest on saanud selle probleemi lahendamise peamine tehnoloogia.Kasutage keskkonda, grafiidi aluspinna katmine peaks vastama järgmistele omadustele:
(2) Kombinatsiooni tugevus grafiitpõhjaga on kõrge, et katet ei oleks pärast mitut kõrge temperatuuri ja madala temperatuuriga tsüklit lihtne maha kukkuda.
SIC -l on korrosioonikindluse eelised, kõrge soojusjuhtivust, soojusliku löögiresistentsuse ja kõrge keemilise stabiilsuse eeliseid ning see võib hästi toimida GAN -i epitaksiaalses atmosfääris.Lisaks erineb SIC soojuspaisumistegur väga vähe grafiidi omast, seega on SIC grafiidi aluse pinnakatte eelistatud materjal.
3C-SIC on ka üldiselt tuntud kuiβ-Sic ja oluline kasutamineβ-SIC on film- ja kattematerjal, niiβ-SIC on praegu katte peamine materjal.