Isostaatiline PECVD grafiitpaat

Isostaatiline PECVD grafiitpaadi esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

Isostaatilist PECVD grafiitpaati kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise erinevates osades, nagu polüränikile sadestamine, oksiidkile sadestamine, nitriidkile sadestamine jne. Tänu suurepärasele jõudlusele on see PECVD protsessis ideaalseks vahvlikandjaks.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

SEMICERA isostaatiline PECVD grafiitpaat on kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiittoode, mis on mõeldud vahvlite toetamiseks PECVD-protsessis (plasma tugevdatud keemiline aurustamine-sadestamine). SEMICERA kasutab täiustatud isostaatilist pressimistehnoloogiat, et tagada grafiitpaadi suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja hea soojusjuhtivus, mis on pooljuhtide tootmisprotsessis asendamatu kulumaterjal.

SEMICERA isostaatilisel PECVD grafiitpaadil on järgmised eelised:

▪ Kõrge puhtusastmega: grafiitmaterjal on kõrge puhtusastmega ja vähese lisandisisaldusega, et vältida vahvli pinna saastumist.

▪ Suur tihedus: suur tihedus, kõrge mehaaniline tugevus, talub kõrget temperatuuri ja kõrget vaakumit.

▪ Hea mõõtmete stabiilsus: väike mõõtmete muutus kõrgel temperatuuril, et tagada protsessi stabiilsus.

▪ Suurepärane soojusjuhtivus: edastab tõhusalt soojust, et vältida vahvli ülekuumenemist.

▪ Tugev korrosioonikindlus: talub erinevate söövitavate gaaside ja plasma erosiooni.

Jõudlusparameeter	semicera	SGL R6510	Jõudlusparameeter
Puistetihedus (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Paindetugevus (MPa)	63	60	49
Survetugevus (MPa)	135	130	103
Shore'i kõvadus (HS)	70	64	60
Soojuspaisumistegur (10-6/K)	85	105	130
Soojuspaisumistegur (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Takistus (μΩm)	11-13	13	10

Meie valimise eelised:
▪ Materjalivalik: Toote kvaliteedi tagamiseks kasutatakse kõrge puhtusastmega grafiitmaterjale.
▪ Töötlemistehnoloogia: Toote tiheduse ja ühtluse tagamiseks kasutatakse isostaatilist pressimist.
▪ Suuruse kohandamine: erineva suuruse ja kujuga grafiitpaate saab kohandada vastavalt kliendi vajadustele.
▪ Pinnatöötlus: erinevate protsessinõuete täitmiseks pakutakse mitmesuguseid pinnatöötlusmeetodeid, nagu näiteks ränikarbiidi, boornitriidi jne katmine.