Semicera kõrge puhtusastmegaRänikarbiidist mõlaon hoolikalt konstrueeritud, et vastata kaasaegsete pooljuhtide tootmisprotsesside rangetele nõudmistele. SeeSiC konsooliga mõlasobib suurepäraselt kõrge temperatuuriga keskkondades, pakkudes võrratut termilist stabiilsust ja mehaanilist vastupidavust. SiC konsooli struktuur on ehitatud taluma ekstreemseid tingimusi, tagades usaldusväärse vahvlikäsitluse erinevate protsesside vältel.
Üks peamisi uuendusiSiC mõlaon selle kerge, kuid vastupidav disain, mis võimaldab hõlpsasti integreerida olemasolevatesse süsteemidesse. Selle kõrge soojusjuhtivus aitab säilitada vahvli stabiilsust kriitilistes faasides, nagu söövitus ja sadestamine, minimeerides vahvli kahjustamise riski ja tagades suurema tootmissaagi. Kõrge tihedusega ränikarbiidi kasutamine laba konstruktsioonis suurendab selle kulumiskindlust, pikendades kasutusiga ja vähendades vajadust sagedase asendamise järele.
Semicera paneb suurt rõhku innovatsioonile, pakkudes aSiC konsooliga mõlamis mitte ainult ei vasta, vaid ka ületab tööstusstandardeid. See mõla on optimeeritud kasutamiseks erinevates pooljuhtide rakendustes, alates sadestustest kuni söövitamiseni, kus täpsus ja töökindlus on üliolulised. Selle tipptehnoloogia integreerimisega võivad tootjad oodata paremat tõhusust, väiksemaid hoolduskulusid ja ühtlast tootekvaliteeti.
| Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused | |
| Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
| Töötemperatuur (°C) | 1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond) |
| SiC sisu | > 99,96% |
| Tasuta Si sisu | < 0,1% |
| Puistetihedus | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Ilmne poorsus | < 16% |
| Survetugevus | > 600 MPa |
| Külm paindetugevus | 80–90 MPa (20 °C) |
| Kuum paindetugevus | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Soojuspaisumine @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Soojusjuhtivus @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastsusmoodul | 240 GPa |
| Soojuslöögikindlus | Ülimalt hea |
