Kõrge puhtusastmega SiC kandja/sustseptor

Kõrge puhtusastmega ränidioksiidi kandja/susseptori esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

Ränikarbiidist laagriketas on tuntud ka kui SIC-alus, ränikarbiidist söövitusketas, ICP-söövitusketas. Ränikarbiidist kandik LED-söövitamiseks (SiC-alus) φ600mm on spetsiaalne tarvik sügavaks räni söövitamiseks (ICP-söövitusmasin).

Saatke meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Kirjeldus

Ränikarbiidkeraamikal on toatemperatuuril suurepärased mehaanilised omadused, nagu kõrge tugevus, kõrge kõvadus, kõrge elastsusmoodul jne, samuti on sellel suurepärane stabiilsus kõrgel temperatuuril, nagu kõrge soojusjuhtivus, madal soojuspaisumise koefitsient ning hea erijäikus ja optiline omadus. töötlemise jõudlus.
Need sobivad eriti hästi täppiskeraamiliste osade tootmiseks integraallülitusseadmetele, nagu litograafiamasinad, mida kasutatakse peamiselt SiC kandja/susseptori, SiC vahvlipaadi, imemisketta, vesijahutusplaadi, täppismõõtereflektori, resti ja muude keraamiliste konstruktsiooniosade valmistamiseks.

vedaja2

vedaja3

vedaja4

Eelised

Kõrge temperatuuritaluvus: tavaline kasutamine temperatuuril 1800 ℃
Kõrge soojusjuhtivus: samaväärne grafiitmaterjaliga
Kõrge kõvadus: kõvadus on teemandi ja boornitriidi järel teine
Korrosioonikindlus: tugeval happel ja leelisel ei ole korrosiooni, korrosioonikindlus on parem kui volframkarbiidil ja alumiiniumoksiidil
Kerge kaal: madal tihedus, alumiiniumilähedane
Deformatsioon puudub: madal soojuspaisumistegur
Soojusšokikindlus: see talub teravaid temperatuurimuutusi, talub termilist šokki ja on stabiilse jõudlusega
Ränikarbiidi kandjaid, nagu sic söövituskandur, ICP söövitussusceptor, kasutatakse laialdaselt pooljuhtide CVD-s, vaakumpihustamisel jne. Pakume klientidele kohandatud räni- ja ränikarbiidmaterjalidest vahvlikandjaid, mis vastavad erinevatele rakendustele.

Eelised

Kinnisvara	Väärtus	meetod
Tihedus	3,21 g/cc	Valamu-ujuk ja mõõde
Erisoojus	0,66 J/g °K	Impulss-laservälk
Paindetugevus	450 MPa560 MPa	4-punktiline kurv, RT4-punktiline painutus, 1300°
Murde sitkus	2,94 MPa m1/2	Mikrosisenemine
Kõvadus	2800	Vickeri, 500g koorem
Elastic ModulusYoungi moodul	450 GPa430 GPa	4 pt painutus, RT4 pt painutus, 1300 °C
Tera suurus	2–10 µm	SEM

Ettevõtte profiil

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. on täiustatud pooljuhtkeraamika juhtiv tarnija ja ainus tootja Hiinas, kes suudab samaaegselt pakkuda kõrge puhtusastmega ränikarbiidkeraamikat (eriti ümberkristallitud ränikarbiidi) ja CVD ränikarbiidi katet. Lisaks on meie ettevõte pühendunud ka keraamilistele valdkondadele, nagu alumiiniumoksiid, alumiiniumnitriid, tsirkooniumoksiid ja räninitriid jne.

Meie peamised tooted, sealhulgas: ränikarbiidist söövitusketas, ränikarbiidist paadipuksik, ränikarbiidist vahvelpaat (Photovoltaic & Semiconductor), ränikarbiidist ahjutoru, ränikarbiidist konsoollaba, ränikarbiidist padrunid, ränikarbiidi tala ja CVDC katmine katmine. Tooted, mida kasutatakse peamiselt pooljuht- ja fotogalvaanilises tööstuses, nagu seadmed kristallide kasvatamiseks, epitakseerimiseks, söövitamiseks, pakendamiseks, katmiseks ja difusiooniahjudeks jne.
umbes (2)