Sissejuhatus ränikarbiidkattesse
Meie keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ränikarbiidi (SiC) kate on väga vastupidav ja kulumiskindel kiht, mis sobib ideaalselt keskkonda, mis nõuab suurt korrosiooni- ja termilist vastupidavust.Ränikarbiidi katekantakse õhukeste kihtidena erinevatele aluspindadele läbi CVD protsessi, pakkudes suurepäraseid jõudlusomadusi.
Põhifunktsioonid
● -Eriline puhtus: ülipuhta koostisega99,99995%, meieSiC kateminimeerib saastumise riski tundlike pooljuhtide operatsioonides.
● - Suurepärane vastupidavus: Sellel on suurepärane vastupidavus nii kulumisele kui ka korrosioonile, mistõttu on see ideaalne keerukate keemiliste ja plasmaseadete jaoks.
● -Kõrge soojusjuhtivus: Tänu oma suurepärastele soojusomadustele tagab töökindluse äärmuslikel temperatuuridel.
● -Dimensioonide stabiilsus: Tänu madalale soojuspaisumistegurile säilitab konstruktsiooni terviklikkuse laias temperatuurivahemikus.
● - Suurenenud kõvadus: kõvadusastmega40 GPa, meie SiC kate peab vastu märkimisväärsetele löökidele ja hõõrdumisele.
● -Smooth Surface Finish: annab peeglitaolise viimistluse, vähendades osakeste teket ja suurendades töö efektiivsust.
Rakendused
Semicera SiC kattedkasutatakse pooljuhtide tootmise erinevates etappides, sealhulgas:
● -LED-kiipide valmistamine
● -Polüräni tootmine
● -Pooljuhtide kristallide kasv
● -Räni ja SiC Epitaxy
● -Termiline oksüdatsioon ja difusioon (TO&D)
Tarnime ränikarbiidiga kaetud komponente, mis on valmistatud kõrgtugevast isostaatilisest grafiidist, süsinikkiuga tugevdatud süsinikust ja 4N ümberkristalliseeritud ränikarbiidist, mis on kohandatud keevkihtreaktorite jaoks.STC-TCS muundurid, CZ-ühiku reflektorid, SiC vahvlipaat, SiCwaferi laba, SiC vahvlitoru ja PECVD-s, räni epitaksis ja MOCVD-protsessides kasutatavad vahvlikandjad.
Kasu
● - Pikendatud eluiga: vähendab märkimisväärselt seadmete seisakuaega ja hoolduskulusid, suurendades üldist tootmise efektiivsust.
● -Parem kvaliteet: Saavutab pooljuhtide töötlemiseks vajalikud kõrge puhtusastmega pinnad, tõstes seeläbi toote kvaliteeti.
● - Suurenenud efektiivsus: Optimeerib termilisi ja CVD protsesse, mille tulemuseks on lühemad tsükliajad ja suurem saagikus.
Tehnilised andmed
● -Struktuur: FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
● -Tihedus: 3,21 g/cm³
● -Kõvadus: 2500 Vickesi kõvadus (koormus 500 g)
● -Murdumiskindlus: 3,0 MPa·m1/2
● -soojuspaisumise koefitsient (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Elastne moodul(1300 ℃):435 GPa
● -Tüüpiline kile paksus:100 µm
● - Pinna karedus:2-10 µm
Puhtusandmed (mõõdetud hõõglahenduse massispektroskoopiaga)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
