Sissejuhatus ränikarbiidkattesse
Põhifunktsioonid
: ülipuhta koostisega99,99995%SiC kate
● - Suurepärane vastupidavus: Sellel on suurepärane vastupidavus nii kulumisele kui ka korrosioonile, mistõttu on see ideaalne keerukate keemiliste ja plasmaseadete jaoks.
● -Kõrge soojusjuhtivus: Tagab usaldusväärse jõudluse äärmuslike temperatuuride korral silmapaistvate termiliste omaduste tõttu.
● -Dimensioonide stabiilsus: Tänu madalale soojuspaisumistegurile säilitab konstruktsiooni terviklikkuse laias temperatuurivahemikus.
: kõvadusastmega, meie SiC kate peab vastu märkimisväärsetele löökidele ja hõõrdumisele.
● -Smooth Surface Finish: annab peeglitaolise viimistluse, vähendades osakeste teket ja suurendades töö efektiivsust.
Rakendused
Semicera SiC katted
● -LED-kiipide valmistamine
● -Polüräni tootmine
● -Pooljuhtide kristallide kasv
● -Räni ja SiC Epitaxy
● -Termiline oksüdatsioon ja difusioon (TO&D)
.
Kasu
● - Pikendatud eluiga: vähendab märkimisväärselt seadmete seisakuaega ja hoolduskulusid, suurendades üldist tootmise efektiivsust.
: Saavutab pooljuhtide töötlemiseks vajalikud kõrge puhtusastmega pinnad, tõstes seeläbi toote kvaliteeti.
● - Suurenenud efektiivsus: Optimeerib termilisi ja CVD protsesse, mille tulemuseks on lühemad tsükliajad ja suurem saagikus.
Tehnilised andmed
● -Struktuur: FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
● -Tihedus: 3,21 g/cm³
● -Kõvadus: 2500 Vickesi kõvadus (koormus 500 g)
● -Murdumiskindlus: 3,0 MPa·m1/2
● -soojuspaisumise koefitsient (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Elastne moodul(1300 ℃):435 GPa
● -Tüüpiline kile paksus:100 µm
● - Pinna karedus:2-10 µm
Puhtusandmed (mõõdetud hõõglahenduse massispektroskoopiaga)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
