Omadused ja eelised
1.Täpsed mõõtmed ja termiline stabiilsus
2.Kõrge spetsiifiline jäikus ja suurepärane termiline ühtlus, pikaajaline kasutamine ei ole lihtne painutada deformatsiooni;
3. Sellel on sile pind ja hea kulumiskindlus, seega saab kiipi ohutult käsitseda ilma osakeste saastumiseta.
4.Ränikarbiidi eritakistus 106-108Ω, mittemagnetiline, kooskõlas anti-ESD spetsifikatsiooni nõuetele;See võib takistada staatilise elektri kogunemist kiibi pinnale
5. Hea soojusjuhtivus, madal paisumistegur.
