Aatomkihtsadestamine (ALD) on keemiline aurustamise-sadestamise tehnoloogia, mis kasvatab õhukesi kilesid kiht-kihi haaval, süstides vaheldumisi kahte või enamat lähtemolekuli. ALD eeliseks on kõrge juhitavus ja ühtlus ning seda saab laialdaselt kasutada pooljuhtseadmetes, optoelektroonilistes seadmetes, energiasalvestusseadmetes ja muudes valdkondades. ALD põhiprintsiibid hõlmavad prekursori adsorptsiooni, pinnareaktsiooni ja kõrvalsaaduste eemaldamist ning mitmekihilisi materjale saab moodustada, korrates neid samme tsüklis. ALD-l on kõrge juhitavuse, ühtluse ja mittepoorse struktuuri omadused ja eelised ning seda saab kasutada mitmesuguste alusmaterjalide ja erinevate materjalide sadestamiseks.
ALD-l on järgmised omadused ja eelised:
1. Kõrge juhitavus:Kuna ALD on kiht-kihilt kasvav protsess, saab iga materjalikihi paksust ja koostist täpselt kontrollida.
2. Ühtsus:ALD suudab sadestada materjale ühtlaselt kogu substraadi pinnale, vältides ebatasasusi, mis võivad tekkida teiste sadestamistehnoloogiate puhul.
3. Mittepoorne struktuur:Kuna ALD ladestatakse üksikute aatomite või üksikute molekulide ühikutes, on saadud kilel tavaliselt tihe, mittepoorne struktuur.
4. Hea katvus:ALD suudab tõhusalt katta kõrge kuvasuhtega struktuure, nagu nanopoormassiivid, suure poorsusega materjalid jne.
5. Skaleeritavus:ALD-d saab kasutada mitmesuguste alusmaterjalide, sealhulgas metallide, pooljuhtide, klaasi jne jaoks.
6. Mitmekülgsus:Valides erinevaid lähtemolekule, saab ALD protsessis sadestada mitmesuguseid erinevaid materjale, nagu metallioksiidid, sulfiidid, nitriidid jne.
