6-tolline n-tüüpi sic substraat

Lühikirjeldus:

6-tolline n-tüüpi SiC substraat‌ on pooljuhtmaterjal, mida iseloomustab 6-tollise vahvlisuuruse kasutamine, mis suurendab seadmete arvu, mida saab toota ühel vahvlil suuremal pinnal, vähendades seeläbi seadme tasemel kulusid. . 6-tolliste n-tüüpi SiC substraatide väljatöötamisel ja rakendamisel on kasu selliste tehnoloogiate arengust nagu RAF-i kasvumeetod, mis vähendab dislokatsioone, lõigates kristalle mööda dislokatsioone ja paralleelseid suunda ning kasvatades kristalle uuesti, parandades seeläbi substraadi kvaliteeti. Selle substraadi kasutamine on väga oluline SiC toiteseadmete tootmise efektiivsuse parandamiseks ja kulude vähendamiseks.

Saatke meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Ränikarbiidist (SiC) monokristallmaterjalil on suur ribalaius (~ Si 3 korda), kõrge soojusjuhtivus (~ Si 3,3 korda või GaAs 10 korda), kõrge elektronide küllastumise migratsioonikiirus (~ Si 2,5 korda), suur elektriline purunemine väli (~ Si 10 korda või GaAs 5 korda) ja muud silmapaistvad omadused.

Kolmanda põlvkonna pooljuhtmaterjalide hulka kuuluvad peamiselt SiC, GaN, teemant jne, kuna selle ribalaius (Eg) on suurem või võrdne 2,3 elektronvoltiga (eV), mida tuntakse ka lairibavaheliste pooljuhtmaterjalidena. Võrreldes esimese ja teise põlvkonna pooljuhtmaterjalidega on kolmanda põlvkonna pooljuhtmaterjalide eelised: kõrge soojusjuhtivus, suur läbilöögivõimeline elektriväli, kõrge küllastunud elektronide migratsioonikiirus ja kõrge sidumisenergia, mis vastavad kaasaegse elektroonikatehnoloogia uutele nõuetele. temperatuur, suur võimsus, kõrge rõhk, kõrgsagedus- ja kiirguskindlus ning muud karmid tingimused. Sellel on olulised rakendusväljavaated riigikaitse, lennunduse, kosmosetöö, naftauuringute, optilise salvestamise jne valdkonnas ning see võib vähendada energiakadu enam kui 50% võrra paljudes strateegilistes tööstusharudes, nagu lairibaside, päikeseenergia, autotootmine, pooljuhtvalgustus ja nutivõrk ning võivad vähendada seadmete mahtu rohkem kui 75%, mis on inimteaduse ja -tehnoloogia arengu jaoks verstapostiks.

Semicera energia võib pakkuda klientidele kvaliteetset juhtivat (juhtivat), poolisoleerivat (poolisoleerivat), HPSI (kõrge puhtusastmega poolisolatsiooni) ränikarbiidist substraati; Lisaks saame pakkuda klientidele homogeenseid ja heterogeenseid ränikarbiidi epitaksiaallehti; Samuti saame kohandada epitaksiaalset lehte vastavalt klientide konkreetsetele vajadustele ja minimaalset tellimuse kogust ei ole.

TOOTE PÕHISPETSIFIKATSIOONID

Suurus	6-tolline
Läbimõõt	150,0 mm+0 mm/-0,2 mm
Pinna orientatsioon	teljeväline: 4° <1120>±0,5° suunas
Esmane tasapinnaline pikkus	47,5 mm1,5 mm
Esmane tasapinnaline orientatsioon	<1120>±1,0°
Teisene korter	Mitte ühtegi
Paksus	350,0 um ± 25,0 um
Polütüüp	4H
Juhtiv tüüp	n-tüüpi

KRISTALLI KVALITEEDI SPETSIFIKATSIOONID

6-tolline
Üksus	P-MOS klass	P-SBD klass
Vastupidavus	0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Polütüüp	Ükski pole lubatud
Mikrotoru tihedus	≤0,2/cm2	≤0,5/cm2
EPD	≤4000/cm2	≤8000/cm2
TED	≤3000/cm2	≤6000/cm2
BPD	≤1000/cm2	≤2000/cm2
TSD	≤300/cm2	≤1000/cm2
SF (mõõdetud UV-PL-355 nm)	≤0,5% pindala	≤1% pindala
Hex plaadid kõrge intensiivsusega valgusega	Ükski pole lubatud
Suure intensiivsusega valguse visuaalsed süsinikusisaldused	kumulatiivne pindala≤0,05%