Semicera oma10x10mm mittepolaarne M-tasapinnaline alumiiniumaluson hoolikalt välja töötatud, et vastata kõrgetasemeliste optoelektrooniliste rakenduste nõudmistele. Sellel substraadil on mittepolaarne M-tasandi orientatsioon, mis on kriitiline polarisatsiooniefektide vähendamiseks sellistes seadmetes nagu LED-id ja laserdioodid, mis suurendab jõudlust ja tõhusust.
The10x10mm mittepolaarne M-tasapinnaline alumiiniumaluson valmistatud erakordse kristallilise kvaliteediga, tagades minimaalse defektide tiheduse ja suurepärase struktuurilise terviklikkuse. See muudab selle ideaalseks valikuks kvaliteetsete III-nitriidkilede epitaksiaalseks kasvatamiseks, mis on olulised järgmise põlvkonna optoelektrooniliste seadmete väljatöötamiseks.
Semicera täppistehnika tagab, et iga10x10mm mittepolaarne M-tasapinnaline alumiiniumaluspakub ühtlast paksust ja pinna tasasust, mis on üliolulised ühtlaseks kile sadestumiseks ja seadme valmistamiseks. Lisaks muudab substraadi kompaktne suurus selle sobivaks nii uurimis- kui ka tootmiskeskkonnas, võimaldades paindlikku kasutamist mitmesugustes rakendustes. Tänu suurepärasele termilisele ja keemilisele stabiilsusele loob see substraat usaldusväärse aluse tipptasemel optoelektroonikatehnoloogiate arendamiseks.
| Üksused | Tootmine | Uurimine | Mannekeen |
| Kristalli parameetrid | |||
| Polütüüp | 4H | ||
| Pinna orientatsiooni viga | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrilised parameetrid | |||
| Dopant | n-tüüpi lämmastik | ||
| Vastupidavus | 0,015-0,025 oomi · cm | ||
| Mehaanilised parameetrid | |||
| Läbimõõt | 150,0±0,2 mm | ||
| Paksus | 350±25 μm | ||
| Esmane tasane orientatsioon | [1-100]±5° | ||
| Esmane lame pikkus | 47,5±1,5 mm | ||
| Teisene korter | Mitte ühtegi | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Vibu | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| lõime | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Esiosa (Si-pinna) karedus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikrotoru tihedus | <1 tk/cm2 | <10 tk/cm2 | <15 tk/cm2 |
| Metalli lisandid | ≤5E10 aatomit/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Esiosa kvaliteet | |||
| Esiosa | Si | ||
| Pinnaviimistlus | Si-face CMP | ||
| Osakesed | ≤60ea/vahv (suurus≥0,3μm) | NA | |
| Kriimud | ≤5ea/mm. Kumulatiivne pikkus ≤ Läbimõõt | Kumulatiivne pikkus≤2*Läbimõõt | NA |
| Apelsinikoor/süvendid/plekid/triibud/praod/saastumine | Mitte ühtegi | NA | |
| Servakillud/sõled/murd/kuuskantplaadid | Mitte ühtegi | ||
| Polütüüpsed alad | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pindala≤20% | Kumulatiivne pindala≤30% |
| Eesmine lasermärgistus | Mitte ühtegi | ||
| Selja kvaliteet | |||
| Tagumine viimistlus | C-face CMP | ||
| Kriimud | ≤5ea/mm, kumulatiivne pikkus ≤2*läbimõõt | NA | |
| Tagakülje defektid (servalõigud/taanded) | Mitte ühtegi | ||
| Selja karedus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Tagumine lasermärgistus | 1 mm (ülemisest servast) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakendamine | |||
| Pakendamine | Epi-valmis vaakumpakendiga Mitme vahvliga kasseti pakend | ||
| *Märkused: "NA" tähendab, et taotlust pole. Üksused, mida pole mainitud, võivad viidata SEMI-STD-le. | |||
