Plasma söövitusseadmetes mängivad keraamilised komponendid, sealhulgas teravustamisrõngas, otsustavat rolli. Fookusrõngas, mis asetatakse ümber vahvli ja on sellega otseses kontaktis, on oluline plasma fokuseerimiseks vahvlile, rakendades rõngale pinget. See suurendab un...
Loe edasi