Rullimine viitab protsessile, mille käigus lihvitakse räni monokristallvarda välisläbimõõt nõutava läbimõõduga monokristallvardaks teemantlihvketta abil ja lihvitakse välja monokristallvarda tasase serva võrdluspind või positsioneerimissoon.
Monokristallahju valmistatud monokristallpulga välisläbimõõduga pind ei ole sile ja tasane ning selle läbimõõt on suurem kui lõpprakenduses kasutatud räniplaadi läbimõõt. Vajaliku varda läbimõõdu saab välisläbimõõtu rullides.
Valtsimisveski ülesanne on lihvida silikoonist monokristallvarda tasase serva võrdluspinda või positsioneerimissoont, st teha nõutava läbimõõduga monokristallvardaga suunakatseid. Samal valtspingi seadmel lihvitakse monokristallvarda tasase serva võrdluspind või positsioneerimissoon. Üldiselt kasutavad alla 200 mm läbimõõduga monokristallvardad tasapinnalisi võrdluspindu ja 200 mm ja suurema läbimõõduga monokristallvardad positsioneerimissooned. 200mm läbimõõduga ühekristallvardaid saab valmistada ka tasapinnaliste võrdluspindadega vastavalt vajadusele. Ühekristallvarda orientatsiooni võrdluspinna eesmärk on rahuldada integraallülituse tootmise protsessiseadmete automatiseeritud positsioneerimisoperatsiooni vajadusi; märgistada räniplaadi kristallide orientatsiooni ja juhtivuse tüüpi jne, et hõlbustada tootmise juhtimist; peamine positsioneerimisserv või positsioneerimissoon on risti suunaga <110>. Kiibi pakendamise käigus võib kuubikuteks lõikamine põhjustada vahvli loomulikku lõhenemist ning positsioneerimine võib takistada ka kildude teket.
Ümardamisprotsessi peamised eesmärgid on järgmised: Pinnakvaliteedi parandamine: Ümardamine võib eemaldada räniplaatide pinnalt jäägid ja ebatasasused ning parandada räniplaatide pinna siledust, mis on järgnevate fotolitograafia ja söövitusprotsesside jaoks väga oluline. Stressi vähendamine: räniplaatide lõikamisel ja töötlemisel võib tekkida pinge. Ümardamine võib aidata neid pingeid vabastada ja vältida räniplaatide purunemist järgmistes protsessides. Räniplaatide mehaanilise tugevuse parandamine: Ümardamise käigus muutuvad silikoonplaatide servad siledamaks, mis aitab parandada räniplaatide mehaanilist tugevust ning vähendada transportimisel ja kasutamisel tekkivaid kahjustusi. Mõõtmete täpsuse tagamine: Ümardamisega saab tagada räniplaatide mõõtmete täpsuse, mis on pooljuhtseadmete valmistamisel ülioluline. Räniplaatide elektriliste omaduste parandamine: räniplaatide servade töötlemine mõjutab oluliselt nende elektrilisi omadusi. Ümardamine võib parandada räniplaatide elektrilisi omadusi, näiteks vähendada lekkevoolu. Esteetika: Silikoonplaatide servad on pärast ümardamist siledamad ja ilusamad, mis on vajalik ka teatud kasutusstsenaariumide puhul.
Postitusaeg: 30. juuli 2024