Ränikarbiidist vahvelon valmistatud kõrge puhtusastmega ränipulbrist ja kõrge puhtusastmega süsinikupulbrist toorainena ning ränikarbiidi kristalle kasvatatakse füüsilise auruülekande meetodil (PVT) ja töödeldakseränikarbiidist vahvel.
① Tooraine süntees. Kõrge puhtusastmega ränipulber ja kõrge puhtusastmega süsinikupulber segati teatud vahekorras ning ränikarbiidi osakesed sünteesiti kõrgel temperatuuril üle 2000 ℃. Pärast purustamist, puhastamist ja muid protsesse valmistatakse kõrge puhtusastmega ränikarbiidi pulbri tooraine, mis vastab kristallide kasvu nõuetele.
② Kristallide kasv. Kasutades toorainena kõrge puhtusastmega SIC pulbrit, kasvatati kristalle füüsilise auruülekande (PVT) meetodil, kasutades isearendatud kristallide kasvatamise ahju.
③ valuploki töötlemine. Saadud ränikarbiidi kristallide valuplokk orienteeriti röntgenkiirte monokristallorientaatoriga, seejärel lihviti ja rulliti ning töödeldi standardse läbimõõduga ränikarbiidi kristalliks.
④ Kristalli lõikamine. Mitmerealise lõikeseadme abil lõigatakse ränikarbiidi kristallid õhukesteks lehtedeks, mille paksus ei ületa 1 mm.
⑤ Laastude lihvimine. Vahvel jahvatatakse erineva suurusega teemantlihvimisvedelikega soovitud tasasuse ja kareduseni.
⑥ Laastude poleerimine. Pinnakahjustusteta poleeritud ränikarbiid saadi mehaanilise poleerimise ja keemilise mehaanilise poleerimise teel.
⑦ Kiibi tuvastamine. Kasutage mikrotuubulite tiheduse, kristallide kvaliteedi, pinna kareduse, takistuse, kõveruse, kõveruse, optilist mikroskoopi, röntgendifraktomeetrit, aatomjõu mikroskoopi, kontaktivaba eritakistuse testerit, pinna tasasuse testerit, pinnadefektide kõikehõlmavat testrit ja muid instrumente ja seadmeid, paksuse muutus, pinna kriimustus ja muud ränikarbiidist vahvli parameetrid. Selle järgi määratakse kiibi kvaliteeditase.
⑧ Laastude puhastamine. Ränikarbiidist poleerimislehte puhastatakse puhastusvahendi ja puhta veega, et eemaldada poleerimislehe jääkpoleerimisvedelik ja muu pinnamustus, seejärel puhutakse vahvel ja loksutatakse kuivaks ülikõrge puhtusastmega lämmastiku ja kuivatusmasinaga; Vahvel on kapseldatud puhta lehega karpi ülipuhtasse kambrisse, et moodustada allavoolu kasutusvalmis ränikarbiidist vahvel.
Mida suurem on kiibi suurus, seda keerulisem on vastav kristallide kasvatamise ja töötlemise tehnoloogia ning mida kõrgem on allavoolu seadmete tootmise efektiivsus, seda madalam on ühiku maksumus.
Postitusaeg: 24.11.2023