SIC-katte ettevalmistusprotsess

Praegu on valmistamise meetodidSiC katehõlmavad peamiselt geel-sool meetodit, kinnistamismeetodit, pintsliga katmise meetodit, plasmapihustusmeetodit, keemilise aurureaktsiooni meetodit (CVR) ja keemilise aurustamise meetodit (CVD).

Kinnitusmeetod
See meetod on omamoodi kõrgtemperatuuriline tahkefaasiline paagutamine, mille puhul kasutatakse peamiselt Si- ja C-pulbrit sisestuspulbrina.grafiitmaatriksmanustamispulbris ja paagutub kõrgel temperatuuril inertgaasis ning lõpuks saadakseSiC kategrafiitmaatriksi pinnal. See meetod on protsessis lihtne ning kattekiht ja maatriks on hästi seotud, kuid katte ühtlus paksuse suunas on halb ja auke on lihtne teha, mille tulemuseks on halb oksüdatsioonikindlus.

Pintsliga katmise meetod
Pintsliga katmise meetod harjab vedelat toorainet peamiselt grafiitmaatriksi pinnale ja seejärel tahkub tooraine teatud temperatuuril katte ettevalmistamiseks. See meetod on protsessilt lihtne ja odav, kuid pintsliga katmise meetodil valmistatud kattekihil on nõrk side maatriksiga, katte halb ühtlus, õhuke kattekiht ja madal oksüdatsioonikindlus ning selle abistamiseks on vaja muid meetodeid.

Plasma pihustamise meetod
Plasmapihustusmeetodil kasutatakse peamiselt plasmapüstoli, et pihustada sula- või poolsulanud tooraineid grafiidist substraadi pinnale ning seejärel tahkub ja seob kattekihi. Seda meetodit on lihtne kasutada ja sellega saab valmistada suhteliselt tihedatränikarbiidkate, kuidränikarbiidkateSelle meetodiga valmistatud materjal on sageli liiga nõrk, et omada tugevat oksüdatsioonikindlust, seetõttu kasutatakse seda tavaliselt ränikarbiidi komposiitkatete valmistamiseks, et parandada katte kvaliteeti.

Geel-sool meetod
Geel-sool meetod valmistab põhiliselt ühtlase ja läbipaistva soolilahuse, mis katab aluspinna pinna, kuivatab selle geeliks ja seejärel paagutab katte saamiseks. Seda meetodit on lihtne kasutada ja selle maksumus on madal, kuid ettevalmistatud kattel on puudusi, nagu madal termilise šoki vastupidavus ja kerge pragunemine, ning seda ei saa laialdaselt kasutada.

Keemilise aurureaktsiooni meetod (CVR)
CVR tekitab peamiselt SiO auru, kasutades kõrgel temperatuuril Si ja SiO2 pulbrit, ning C-materjali substraadi pinnal toimub rida keemilisi reaktsioone, et tekitada SiC kattekiht. Selle meetodiga valmistatud SiC-kate on tihedalt aluspinnaga seotud, kuid reaktsioonitemperatuur on kõrge ja maksumus samuti kõrge.


Postitusaeg: 24. juuni 2024