Fotoresisti kasutatakse praegu laialdaselt peente graafiliste lülituste töötlemisel ja tootmisel optoelektroonilise teabetööstuses. Fotolitograafia protsessi maksumus moodustab ligikaudu 35% kogu kiibi tootmisprotsessist ja ajakulu 40% kuni 60% kogu kiibi valmistamise protsessist. See on pooljuhtide tootmise põhiprotsess. Fotoresistmaterjalid moodustavad umbes 4% kiibi valmistamise materjalide kogumaksumusest ja on pooljuhtide integraallülituste valmistamise põhimaterjalid.
Hiina fotoresistide turu kasvutempo on kõrgem kui rahvusvaheline tase. Tulevase tööstuse uurimisinstituudi andmetel oli minu riigi kohalik fotoresisti pakkumine 2019. aastal umbes 7 miljardit jüaani ja liitkasvumäär alates 2010. aastast on jõudnud 11%ni, mis on palju kõrgem kui globaalne kasvumäär. Kohalik tarne moodustab aga vaid umbes 10% ülemaailmsest osast ja kodumaine asendus on saavutatud peamiselt madala hinnaga PCB fotoresistide puhul. Fotoresistide isevarustatus LCD- ja pooljuhtväljades on äärmiselt madal.
Fotoresist on graafiline ülekandemeedium, mis kasutab pärast valgusreaktsiooni erinevat lahustuvust, et kanda maski muster aluspinnale. See koosneb peamiselt valgustundlikust ainest (fotoinitsiaator), polümerisaatorist (valgustundlikust vaigust), lahustist ja lisandist.
Fotoresisti tooraineks on peamiselt vaik, lahusti ja muud lisandid. Nende hulgas moodustab lahusti suurim osa, üldiselt üle 80%. Kuigi muud lisandid moodustavad vähem kui 5% massist, on need peamised materjalid, mis määravad fotoresisti ainulaadsed omadused, sealhulgas fotosensibilisaatorid, pindaktiivsed ained ja muud materjalid. Fotolitograafia protsessis kaetakse fotoresist ühtlaselt erinevatele aluspindadele, nagu räniplaadid, klaas ja metall. Pärast eksponeerimist, väljatöötamist ja söövitamist kantakse maskil olev muster kilele, et moodustada geomeetriline muster, mis vastab täielikult maskile.
Fotoresist võib jagada kolme kategooriasse vastavalt selle allavoolu rakendusväljadele: pooljuhtfotoresist, paneeli fotoresist ja PCB fotoresist.
Pooljuhtfotoresist
Praegu on KrF/ArF endiselt peamine töötlemismaterjal. Integraallülituste väljatöötamisega on fotolitograafia tehnoloogia arenenud G-liini (436 nm) litograafiast, H-liini (405 nm) litograafiast, I-liini (365 nm) litograafiast kuni sügava ultraviolettkiirguse DUV litograafiani (KrF248nm ja ArF193nm), 193 nm keelekümblus pluss mitme kujutise tehnoloogia (32 nm–7 nm) ja seejärel äärmuslikule ultraviolettkiirgusele Samuti on rakendatud (EUV, <13,5 nm) litograafiat ja isegi mitteoptilist litograafiat (elektronkiirega kokkupuude, ioonkiirega kokkupuude) ja erinevat tüüpi fotoresiste, millel on vastavad lainepikkused valgustundlike lainepikkustena.
Fotoresistide turul on tööstuse kõrge kontsentratsioon. Jaapani ettevõtetel on pooljuhtide fotoresistide valdkonnas absoluutne eelis. Peamised pooljuhtide fotoresistide tootjad on Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical Jaapanis; Dongjin Semiconductor Lõuna-Koreas; ja DowDuPont Ameerika Ühendriikides, mille hulgas Jaapani ettevõtted hõivavad umbes 70% turuosast. Toodete osas juhib Tokyo Ohka g-line/i-line ja Krf fotoresistide valdkonnas, turuosadega vastavalt 27,5% ja 32,7%. JSR-il on Arf-fotoresisti valdkonnas suurim turuosa, 25,6%.
Fuji Economicsi prognooside kohaselt peaks globaalne ArF- ja KrF-liimi tootmisvõimsus 2023. aastal jõudma 1870 ja 3650 tonnini ning turu suurus on ligi 4,9 miljardit ja 2,8 miljardit jüaani. Jaapani fotoresistide liidrite JSR ja TOK brutokasumimarginaal koos fotoresistiga on umbes 40%, millest fotoresisti tooraine maksumus moodustab umbes 90%.
Kodumaiste pooljuhtide fotoresistide tootjate hulka kuuluvad Shanghai Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua ja Hengkun Co., Ltd. Praegu on KrF fotoresisti masstootmise võimalus vaid Beijing Kehua ja Jingrui Co., Ltd. , ja Pekingi Kehua tooted on tarnitud SMIC-ile. Shanghai Xinyangis ehitatav 19 000 tonni aastas (kuivprotsess) fotoresisti projekt peaks jõudma täistoodanguni 2022. aastal.
Paneelfotoresist
Fotoresist on LCD-paneelide valmistamise põhimaterjal. Erinevate kasutajate järgi saab selle jagada RGB-liimiks, BM-liimiks, OC-liimiks, PS-liimiks, TFT-liimiks jne.
Paneelfotoresistid hõlmavad peamiselt nelja kategooriat: TFT juhtmestiku fotoresistid, LCD/TP vaheseadised, värvilised fotoresistid ja mustad fotoresistid. Nende hulgas kasutatakse TFT juhtmestiku fotoresiste ITO juhtmestiku jaoks ja LCD/TP sademete fotoresiste, et hoida vedelkristallmaterjali paksus LCD kahe klaassubstraadi vahel konstantsena. Värvilised fotoresistid ja mustad fotoresistid võivad anda värvifiltritele värviedastusfunktsioone.
Paneelfotoresistide turg peab olema stabiilne ja nõudlus värviliste fotoresistide järele on juhtiv. Eeldatakse, et 2022. aastal ulatub ülemaailmne müük 22 900 tonnini ja müük 877 miljoni USA dollarini.
Eeldatakse, et 2022. aastal ulatub TFT-paneelide fotoresistide, LCD/TP-vahepaneelide fotoresistide ja mustade fotoresistide müük vastavalt 321 miljoni USA dollarini, 251 miljoni dollarini ja 199 miljoni dollarini. Zhiyan Consultingi hinnangul ulatub ülemaailmne paneelifotoresistide turu suurus. 2020. aastal 16,7 miljardit RMB, kasvutempo on umbes 4%. Meie hinnangul ulatub fotoresistide turg 2025. aastaks 20,3 miljardi RMB-ni. Nende hulgas peaks LCD-tööstuse keskuse üleviimisega LCD-fotoresisti turu suurus ja lokaliseerimise määr minu riigis järk-järgult suurenema.
PCB fotoresist
PCB fotoresisti saab vastavalt katmismeetodile jagada UV-kõvastuvaks tindiks ja UV-pihustustindiks. Praegu on kodumaised PCB-tindi tarnijad järk-järgult saavutanud siseriikliku asendamise ning sellised ettevõtted nagu Rongda Photosensitive ja Guangxin Materials on omandanud PCB-tindi võtmetehnoloogiad.
Kodused TFT-fotoresistid ja pooljuhtfotoresistid on alles esialgse uurimise etapis. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow ja Feikai Materials on kõik TFT fotoresisti valdkonna paigutusega. Nende hulgas on Feikai Materials ja Beixu Electronics kavandanud tootmisvõimsuseks kuni 5000 tonni aastas. Yak Technology on sisenenud sellele turule, omandades LG Chemi värvifotoresistide osakonna, ning sellel on eelised kanalite ja tehnoloogia osas.
Äärmiselt kõrgete tehniliste tõketega tööstusharudele nagu fotoresist on vundamendiks läbimurde saavutamine tehnilisel tasemel ja teiseks on pooljuhtide tööstuse kiire arengu vajaduste rahuldamiseks vajalik protsesside pidev täiustamine.
Tere tulemast meie veebisaidile tooteteabe ja konsultatsiooni saamiseks.
Postitusaeg: 27.11.2024