Kõik pooljuhtide valmistamisel kasutatavad õhukesed kiled omavad takistust ja kiletakistus mõjutab otseselt seadme jõudlust. Tavaliselt me ei mõõda kile absoluutset takistust, vaid kasutame selle iseloomustamiseks lehe takistust.
Mis on lehe takistus ja mahutakistus?
Mahutakistus, tuntud ka kui mahutakistus, on materjalile omane omadus, mis iseloomustab seda, kui palju materjal takistab elektrivoolu voolu. Tavaliselt kasutatav sümbol ρ tähistab, ühik on Ω.
Lehttakistus, tuntud ka kui lehttakistus, ingliskeelne nimetus on lehttakistus, mis viitab kile takistuse väärtusele pindalaühiku kohta. Tavaliselt kasutatavad sümbolid Rs või ρs väljendamiseks, ühik on Ω/sq või Ω/□
Nende kahe seos on järgmine: lehe takistus = mahutakistus / kile paksus, see tähendab Rs = ρ / t
Miks mõõta lehe takistust?
Kile absoluutse takistuse mõõtmiseks on vaja täpseid teadmisi kile geomeetrilistest mõõtmetest (pikkus, laius, paksus), millel on palju muutujaid ja mis on väga õhukeste või ebakorrapärase kujuga kilede puhul väga keeruline. Lehe vastupidavus on seotud ainult kile paksusega ning seda saab kiiresti ja vahetult testida ilma keeruliste suurusarvutusteta.
Millised kiled peavad mõõtma lehe takistust?
Üldjuhul tuleb elektrit juhtivate kilede ja pooljuhtkilede puhul mõõta ruudukujulist takistust, samas kui isolatsioonikilede puhul pole vaja mõõta.
Pooljuhtide dopingu puhul mõõdetakse ka räni lehttakistust.
Kuidas mõõta ruudu takistust?
Tööstuses kasutatakse üldiselt nelja sondi meetodit. Nelja sondi meetodiga saab mõõta ruuttakistust vahemikus 1E-3 kuni 1E+9Ω/sq. Nelja sondi meetodiga saab vältida mõõtmisvigu, mis tulenevad sondi ja proovi vahelisest kontakttakistusest.
Mõõtmismeetodid:
1) Asetage neli lineaarselt paigutatud sondi proovi pinnale.
2) Rakendage kahe välimise sondi vahel konstantset voolu.
3) Määrake takistus, mõõtes kahe sisemise sondi potentsiaalide erinevust
RS: lehe takistus
ΔV: sisemiste sondide vahel mõõdetud pinge muutus
I: Väliste sondide vahel rakendatud vool
Postitusaeg: 29. märts 2024