Tootmisliini esiots on nagu maja vundamendi ladumine ja seinte ehitamine. Pooljuhtide valmistamisel hõlmab see etapp põhistruktuuride ja transistoride loomist räniplaadil.
FEOL-i peamised sammud:
1. Puhastamine:Alustage õhukese ränivahvliga ja puhastage see, et eemaldada kõik lisandid.
2. Oksüdatsioon:Kasvatage vahvlile ränidioksiidi kiht, et isoleerida kiibi erinevad osad.
3. Fotolitograafia:Kasutage fotolitograafiat mustrite söövitamiseks vahvlile, mis sarnaneb valgusega jooniste joonistamisega.
4. Söövitus:Söövitage soovimatu ränidioksiid, et paljastada soovitud mustrid.
5. Doping:Sisestage räni lisandeid, et muuta selle elektrilisi omadusi, luues transistorid, mis on iga kiibi peamised ehitusplokid.
Mid End of Line (MEOL): punktide ühendamine
Tootmisliini keskmine ots on nagu juhtmestiku ja torustiku paigaldamine majja. See etapp keskendub FEOL-i etapis loodud transistoride vaheliste ühenduste loomisele.
MEOLi peamised sammud:
1. Dielektriline sadestamine:Transistoride kaitsmiseks ladestage isolatsioonikihid (nn dielektrikud).
2. Kontakti loomine:Moodustage kontaktid, et ühendada transistorid üksteise ja välismaailmaga.
3. Ühendus:Lisage metallikihte, et luua elektrisignaalide radasid, mis on sarnased maja juhtmestiku ühendamisega, et tagada sujuv toide ja andmevoog.
Rea tagumine lõpp (BEOL): viimistlus
-
Tootmisliini tagumine ots on nagu majale viimase lihvi lisamine – inventari paigaldamine, värvimine ja kõige toimimise tagamine. Pooljuhtide valmistamisel hõlmab see etapp viimaste kihtide lisamist ja kiibi ettevalmistamist pakendamiseks.
BEOLi peamised sammud:
1. Täiendavad metallikihid:Omavahelise ühenduvuse parandamiseks lisage mitu metallikihti, tagades, et kiip saab hakkama keeruliste ülesannete ja suure kiirusega.
2. Passiveerimine:Kandke kaitsekihte, et kaitsta kiipi keskkonnakahjustuste eest.
3. Testimine:Kontrollige kiipi rangelt, et tagada selle vastavus kõikidele spetsifikatsioonidele.
4. Kuubikuteks lõikamine:Lõika vahvel üksikuteks laastudeks, millest igaüks on pakendamiseks ja elektroonikaseadmetes kasutamiseks valmis.
Postitusaeg: juuli-08-2024