Ränikarbiidkeraamika kasutamine pooljuhtide väljal

Pooljuhid:

Pooljuhtide tööstus järgib tööstusseadust "üks tehnoloogia põlvkond, üks põlvkond protsess ja üks põlvkond seadmeid" ning pooljuhtseadmete uuendamine ja iteratsioon sõltub suuresti täppisosade tehnoloogilisest läbimurdest. Nende hulgas on täppiskeraamilised osad kõige tüüpilisemad pooljuhtide täppisosade materjalid, millel on olulised rakendused paljudes peamistes pooljuhtide tootmislülides, nagu keemiline aurustamine-sadestamine, füüsiline aurustamine-sadestamine, ioonide implanteerimine ja söövitamine. Näiteks laagrid, juhtsiinid, vooderdised, elektrostaatilised padrunid, mehaanilised käsivarred jne. Eelkõige seadme õõnsuse sees mängib see toe, kaitse ja kõrvalejuhtimise rolli.

640

Alates 2023. aastast on Holland ja Jaapan samuti järjest välja andnud uusi kontrolli käsitlevaid eeskirju või väliskaubanduse dekreete, lisades ekspordilitsentside eeskirjad pooljuhtseadmetele, sealhulgas litograafiamasinatele, ning järk-järgult on esile kerkinud pooljuhtide globaliseerumisvastane suund. Tarneahela sõltumatu kontrolli tähtsus on muutunud järjest olulisemaks. Seistes silmitsi nõudlusega pooljuhtseadmete osade lokaliseerimise järele, edendavad kodumaised ettevõtted aktiivselt tööstuse arengut. Zhongci Electronics on realiseerinud kõrgtehnoloogiliste täppisosade, nagu kütteplaadid ja elektrostaatilised padrunid, lokaliseerimise, lahendades kodumaise pooljuhtseadmete tööstuse kitsaskoha; Dezhi New Materials, juhtiv kodumaine ränidioksiidiga kaetud grafiitaluste ja ränikarbiidi söövitusrõngaste tarnija, on edukalt lõpetanud 100 miljoni jüaani suuruse rahastamise jne.
Kõrge juhtivusega räninitriidkeraamilised aluspinnad:

Räninitriidkeraamilisi substraate kasutatakse peamiselt puhaste elektrisõidukite (EV) ja hübriidelektrisõidukite (HEV) jõuallikates, pooljuhtseadmetes ja inverterites ning neil on tohutu turupotentsiaal ja kasutusväljavaated.

640 (1)

Praegu nõuavad suure soojusjuhtivusega räninitriidkeraamilised alusmaterjalid kaubanduslikeks rakendusteks soojusjuhtivust ≥85 W/(m·K), paindetugevust ≥650MPa ja purunemiskindlust 5–7MPa·m1/2. Ettevõtted, kes suudavad toota suure soojusjuhtivusega räninitriidkeraamilisi substraate, on peamiselt Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa ja Japan Fine Ceramics.

Räninitriidkeraamiliste substraadimaterjalide siseriiklikud uuringud on samuti teatavaid edusamme teinud. Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. Pekingi filiaali lindivalamise teel valmistatud räninitriidkeraamilise substraadi soojusjuhtivus on 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. on edukalt valmistanud räninitriidkeraamilise substraadi paindetugevusega 700–800 MPa, purunemistugevusega ≥8MPa·m1/2 ja soojusjuhtivusega ≥80W/(m·K) optimeerides paagutamismeetodit ja -protsessi.


Postitusaeg: 29.10.2024